2. تجرباتي عمل
2.1 چپپڻ واري فلم جو علاج
اهو مشاهدو ڪيو ويو ته سڌو سنئون ڪاربان فلم ٺاهڻ يا گرافائٽ پيپر سان بانڊنگسي سي ويفرزچپپڻ سان گڏ ٿيل ڪيترن ئي مسئلن جو سبب بڻيا:
1. خال حالتن هيٺ، تي Adhesive فلمسي سي ويفرزاھم هوا جي ڇڏڻ جي ڪري ھڪڙي پيماني تي نمايان ترقي ڪئي، جنھن جي نتيجي ۾ مٿاڇري جي پورائي. هن چپپڻ واري پرت کي ڪاربنائيزيشن کان پوءِ صحيح طور تي بانڊ ٿيڻ کان روڪيو.
2. bonding دوران، جيويفرهڪ ڀيرو ۾ graphite پيپر تي رکيل هجڻ ضروري آهي. جيڪڏهن ريپوزيشن ٿئي ٿي، اڻ برابري دٻاء چپپڻ واري يونيفارم کي گهٽائي سگھي ٿي، منفي طور تي بانڊ جي معيار تي اثر انداز ٿئي ٿي.
3. ويڪيوم آپريشنز ۾، چپپڻ واري پرت مان هوا جي ڇڏڻ سبب چپڪندڙ فلم جي اندر ڇلڻ ۽ ڪيترن ئي خلائن جي ٺهڻ جو سبب بنجي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ بانڊنگ خرابيون پيدا ٿين ٿيون. انهن مسئلن کي حل ڪرڻ لاء، اڳ ۾ خشڪ ڪرڻ واري چپڙي تيويفر جواسپن ڪوٽنگ کان پوءِ گرم پليٽ استعمال ڪندي مٿاڇري کي بند ڪرڻ جي سفارش ڪئي وئي آهي.
2.2 ڪاربنائيزيشن جو عمل
تي ڪاربان فلم ٺاهڻ جو عملسي سي سيڊ ويفر۽ ان کي گريفائيٽ پيپر سان بانڊ ڪرڻ لاءِ مخصوص درجه حرارت تي چپپڻ واري پرت جي ڪاربانائيزيشن جي ضرورت آهي ته جيئن تنگ بانڊنگ کي يقيني بڻائي سگهجي. چپپڻ واري پرت جي نامڪمل ڪاربنائيزيشن ان جي سڙڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿي ترقي جي دوران، نجاست خارج ڪري ٿي جيڪا ڪرسٽل جي ترقي جي معيار کي متاثر ڪري ٿي. تنهن ڪري، چپپڻ واري پرت جي مڪمل ڪاربنائيزيشن کي يقيني بڻائڻ اعلي کثافت جي تعلق لاء اهم آهي. هن مطالعي جي چڪاس ڪاربنائيزيشن تي درجه حرارت جي اثر کي جانچيندو آهي. photoresist جي هڪ يونيفارم پرت تي لاڳو ڪيو ويوويفرمٿاڇري ۽ ويڪيوم هيٺ هڪ ٽيوب فرنس ۾ رکيل آهي (<10 Pa). گرمي پد اڳواٽ سطح تائين وڌايو ويو (400 ℃، 500 ℃، ۽ 600 ℃) ۽ ڪاربنائيزيشن حاصل ڪرڻ لاء 3-5 ڪلاڪن تائين برقرار رکيو ويو.
تجربا ظاهر ڪيا ويا آهن:
400 ℃ تي، 3 ڪلاڪن کان پوء، چپپڻ واري فلم ڪاربنائيز نه ڪئي ۽ ڳاڙهو ڳاڙهو ظاهر ٿيو؛ 4 ڪلاڪن کانپوءِ ڪا خاص تبديلي نه آئي.
500 ℃ تي، 3 ڪلاڪن کان پوء، فلم ڪارو ٿي ويو پر اڃا تائين روشني منتقل ڪئي وئي؛ 4 ڪلاڪن کان پوء ڪا خاص تبديلي ناهي.
600 ℃ تي، 3 ڪلاڪن کان پوء، فلم ڪارو ٿي ويو بغير ڪنهن روشني جي منتقلي سان، مڪمل ڪاربنائيزيشن کي اشارو ڪري ٿو.
اهڙيء طرح، مناسب بانڊ گرمي پد جي ضرورت آهي ≥600 ℃.
2.3 Adhesive Application Process
چپپڻ واري فلم جي هڪجهڙائي چپپڻ واري ايپليڪيشن جي عمل کي جانچڻ ۽ يونيفارم بانڊنگ پرت کي يقيني بڻائڻ لاءِ هڪ نازڪ اشارو آهي. هي سيڪشن مختلف چپپڻ واري فلم جي ٿلهي لاءِ بهترين اسپن جي رفتار ۽ ڪوٽنگ جو وقت ڳولي ٿو. هڪجهڙائي
فلم جي ٿلهي جي u جي وضاحت ڪئي وئي آهي گهٽ ۾ گهٽ فلم جي ٿلهي Lmin جي وڌ ۾ وڌ فلم جي ٿلهي Lmax جي فائدي واري علائقي تي. فلم جي ٿلهي کي ماپڻ لاءِ ويفر تي پنج نقطا چونڊيا ويا، ۽ يونيفارم جي حساب سان ڪيو ويو. شڪل 4 ماپ جي پوائنٽن کي بيان ڪري ٿو.
SiC wafer ۽ graphite جي اجزاء جي وچ ۾ اعلي کثافت جي تعلق لاء، ترجيحي چپڪندڙ فلم جي ٿولهه 1-5 µm آهي. 2 µm جي هڪ فلم جي ٿلهي کي چونڊيو ويو، ٻنهي ڪاربن فلم جي تياري ۽ ويفر/گرافائيٽ پيپر بانڊنگ پروسيس تي لاڳو ٿئي ٿو. ڪاربنائيزنگ چپپڻ لاءِ بهترين اسپن ڪوٽنگ جا پيرا ميٽر 15 s 2500 r/min تي آهن، ۽ bonding Adhesive لاءِ، 15 s 2000 r/min تي.
2.4 بانڊنگ جو عمل
سي سي ويفر کي گريفائٽ/گرافائيٽ پيپر جي بانڊنگ دوران، بانڊنگ پرت مان ڪاربنائيزيشن دوران پيدا ٿيندڙ هوا ۽ نامياتي گيس کي مڪمل طور تي ختم ڪرڻ انتهائي اهم آهي. نامڪمل گيس جي خاتمي جي نتيجي ۾ voids، هڪ غير گھڻ بانڊنگ پرت جي اڳواڻي ۾. هوا ۽ نامياتي گيس کي مشيني تيل پمپ استعمال ڪندي ڪڍي سگهجي ٿو. شروعاتي طور تي، ميڪيڪل پمپ جي مسلسل آپريشن کي يقيني بڻائي ٿو ته ويڪيوم چيمبر پنهنجي حد تائين پهچي ٿو، بانڊنگ پرت مان مڪمل هوا کي هٽائڻ جي اجازت ڏئي ٿي. تيز گرمي پد ۾ اضافو تيز گرمي پد ڪاربنائيزيشن دوران بروقت گيس جي خاتمي کي روڪي سگھي ٿو، بانڊنگ پرت ۾ ويڊس ٺاهيندي. Adhesive خاصيتون ≤120 ℃ تي اهم آئوٽ گيسنگ جي نشاندهي ڪن ٿا، هن درجه حرارت جي مٿان مستحڪم.
بانڊنگ دوران خارجي دٻاءُ لاڳو ڪيو ويندو آهي چپپڻ واري فلم جي کثافت کي وڌائڻ لاءِ، هوا ۽ نامياتي گيس جي خارج ٿيڻ کي آسان بڻائي ٿي، جنهن جي نتيجي ۾ اعليٰ کثافت واري بانڊنگ پرت پيدا ٿئي ٿي.
خلاصو، شڪل 5 ۾ ڏيکاريل بانڊنگ عمل وکر ترقي ڪئي وئي. مخصوص دٻاءَ هيٺ، گرمي پد کي اوٽ گيس ڪرڻ واري درجه حرارت (~ 120 ℃) تائين وڌايو ويندو آهي ۽ ان وقت تائين منعقد ڪيو ويندو آهي جيستائين ٻاهر نڪرڻ مڪمل نه ٿئي. پوءِ، گرمي پد کي ڪاربنائيزيشن جي درجه حرارت تائين وڌايو ويندو آهي، گهربل مدت تائين برقرار رکيو ويندو آهي، بعد ۾ قدرتي ٿڌي ڪمري جي حرارت تائين، پريشر ڇڏڻ، ۽ بند ٿيل ويفر کي هٽائڻ.
سيڪشن 2.2 جي مطابق، چپپڻ واري فلم کي 600 ℃ تي 3 ڪلاڪن کان وڌيڪ ڪاربنائيز ٿيڻ جي ضرورت آهي. تنهن ڪري، بانڊنگ عمل جي وکر ۾، T2 600 ℃ ۽ t2 کان 3 ڪلاڪ تائين مقرر ڪئي وئي آهي. بانڊنگ جي عمل جي وکر لاءِ بهترين قدر، آرٿوگونل تجربن ذريعي طئي ڪيا ويا آهن جيڪي بانڊنگ پريشر جي اثرن جو مطالعو ڪن ٿا، پهرين اسٽيج حرارتي وقت T1، ۽ سيڪنڊ اسٽيج حرارتي وقت T2 بانڊنگ نتيجن تي، ٽيبل 2-4 ۾ ڏيکاريا ويا آهن.
ڏيکاريل نتيجا:
5 kN جي بانڊنگ پريشر تي، گرميءَ جو وقت بانڊنگ تي گهٽ ۾ گهٽ اثر پيو.
10 kN تي، بانڊنگ پرت ۾ خالي علائقو گھٽجي ويو پهرين اسٽيج جي گهڻي گرمائش سان.
15 kN تي، پهرين اسٽيج جي گرمائش کي وڌائڻ سان خاص طور تي ويڊس گھٽجي ٿي، آخرڪار انهن کي ختم ڪري ٿو.
بانڊنگ تي ٻئي اسٽيج جي حرارتي وقت جو اثر آرٿوگونل ٽيسٽ ۾ واضح نه هو. بانڊنگ پريشر کي 15 kN تي فڪس ڪرڻ ۽ 90 منٽ تي پھرين اسٽيج جي گرمائش جو وقت، 30، 60 ۽ 90 منٽ جي ٻئي اسٽيج جي گرمائش جو وقت سڀني جي نتيجي ۾ وائڊ فري ڊينس بانڊنگ ليئرز پيدا ٿيا، جيڪو اشارو ڪري ٿو ته ٻئي مرحلي جي گرمائش جو وقت ھو. تعلق تي ٿورو اثر.
بانڊنگ پروسيس وکر لاءِ بهترين قيمتون آهن: بانڊنگ پريشر 15 kN، پهرين اسٽيج جي گرمي جو وقت 90 منٽ، پهرين اسٽيج جو گرمي پد 120 ℃، سيڪنڊ اسٽيج جي گرمي جو وقت 30 منٽ، سيڪنڊ اسٽيج جو گرمي پد 600 ℃، ۽ ٻيو مرحلو هولڊنگ ٽائيم 3 ڪلاڪ.
پوسٽ جو وقت: جون-11-2024