خالص سي وي ڊي سلڪون ڪاربائيڊ

سي وي ڊي بلڪ سلڪون ڪاربائيڊ (سي آءِ سي)

جائزو:سي وي ڊيگھڻي مقدار ۾ سلڪون ڪاربائيڊ (SiC)پلازما ايچنگ سامان، تيز حرارتي پروسيسنگ (RTP) ايپليڪيشنن، ۽ ٻين سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي عملن ۾ هڪ تمام گهڻي گهربل مواد آهي. ان جي غير معمولي ميڪيڪل، ڪيميائي، ۽ حرارتي خاصيتون ان کي جديد ٽيڪنالاجي ايپليڪيشنن لاءِ هڪ مثالي مواد بڻائين ٿيون جيڪي اعلي درستگي ۽ استحڪام جي ضرورت هونديون آهن.

سي وي ڊي بلڪ سي آءِ سي جون درخواستون:بلڪ سي سي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ اهم آهي، خاص طور تي پلازما ايچنگ سسٽم ۾، جتي فوڪس رِنگز، گيس شاور هيڊز، ايج رِنگز، ۽ پليٽن جهڙا جزا سي سي جي شاندار سنکنرن مزاحمت ۽ حرارتي چالکائي مان فائدو حاصل ڪن ٿا. ان جو استعمالآر ٽي پيسسٽم SiC جي صلاحيت جي ڪري تيز گرمي پد جي اتار چڙهاؤ کي بغير ڪنهن وڏي تباهي جي برداشت ڪري ٿو.

ايچنگ سامان کان علاوه، سي وي ڊيگھڻي تعداد ۾ سي آءِ سيڊفيوژن فرنس ۽ ڪرسٽل جي واڌ جي عملن ۾ پسند ڪيو ويندو آهي، جتي اعليٰ حرارتي استحڪام ۽ سخت ڪيميائي ماحول جي مزاحمت جي ضرورت هوندي آهي. اهي خاصيتون SiC کي اعليٰ درجه حرارت ۽ corrosive گيسن، جهڙوڪ ڪلورين ۽ فلورين تي مشتمل، جي اعليٰ طلب واري ايپليڪيشنن لاءِ پسند جو مواد بڻائين ٿيون.

سي وي ڊي بلڪ سي آءِ سي اجزاء جا فائدا:

•وڏي کثافت:3.2 g/cm³ جي کثافت سان،سي وي ڊي بلڪ سي آءِ سياجزاء پائڻ ۽ مشيني اثر جي خلاف انتهائي مزاحمتي آهن.

•اعليٰ حرارتي چالکائي:300 W/m·K جي حرارتي چالکائي پيش ڪندي، بلڪ SiC موثر طريقي سان گرمي کي منظم ڪري ٿو، ان کي انتهائي حرارتي چڪرن جي سامهون ايندڙ حصن لاءِ مثالي بڻائي ٿو.

•غير معمولي ڪيميائي مزاحمت:ڪلورين ۽ فلورين تي ٻڌل ڪيميڪلز سميت ايچنگ گيسن سان SiC جي گهٽ رد عمل، جزو جي ڊگهي زندگي کي يقيني بڻائي ٿي.

•ترتيب ڏيڻ واري مزاحمت: سي وي ڊي بلڪ سي آءِ سيزمزاحمت کي 10⁻²–10⁴ Ω-cm جي حد اندر ترتيب ڏئي سگهجي ٿو، ان کي مخصوص ايچنگ ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏئي سگهجي ٿو.

•حرارتي توسيع جو ڳوڙهو:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C) جي حرارتي توسيع جي کوٽائي سان، CVD بلڪ SiC حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت ڪري ٿو، تيز گرمي ۽ ٿڌي چڪر دوران به طول و عرض جي استحڪام کي برقرار رکي ٿو.

•پلازما ۾ پائيداري:سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾ پلازما ۽ رد عمل واري گيسن جي نمائش ناگزير آهي، پرسي وي ڊي بلڪ سي آءِ سيسنکنرن ۽ خراب ٿيڻ جي خلاف بهترين مزاحمت پيش ڪري ٿو، متبادل تعدد ۽ مجموعي سار سنڀال جي قيمتن کي گهٽائي ٿو.

ٽيڪنيڪل وضاحتون:

•نيم:305 ملي ميٽر کان وڌيڪ

•مزاحمت:10⁻²–10⁴ Ω-cm اندر ترتيب ڏئي سگهجي ٿو

•کثافت:3.2 گرام/سينٽي ميٽر³

•حرارتي چالکائي:300 واٽ/ميليٽر·ڪلو

•حرارتي توسيع جو ڳوڙهو:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C)

حسب ضرورت ۽ لچڪ:تيسيميسيرا سيمي ڪنڊڪٽر، اسان سمجهون ٿا ته هر سيمي ڪنڊڪٽر ايپليڪيشن کي مختلف وضاحتن جي ضرورت ٿي سگهي ٿي. اهو ئي سبب آهي ته اسان جا CVD بلڪ SiC جزا مڪمل طور تي ترتيب ڏيڻ وارا آهن، ترتيب ڏيڻ واري مزاحمت ۽ توهان جي سامان جي ضرورتن مطابق طول و عرض سان. ڇا توهان پنهنجي پلازما ايچنگ سسٽم کي بهتر بڻائي رهيا آهيو يا RTP يا ڊفيوژن عملن ۾ پائيدار اجزاء ڳولي رهيا آهيو، اسان جو CVD بلڪ SiC بي مثال ڪارڪردگي فراهم ڪري ٿو.