سيميسيراويفر ڪيسٽسيميڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾ هڪ نازڪ جزو آهي، نازڪ سيمي ڪنڊڪٽر ويفرز کي محفوظ طور تي رکڻ ۽ ٽرانسپورٽ ڪرڻ لاءِ ٺهيل آهي. جيويفر ڪيسٽغير معمولي تحفظ فراهم ڪري ٿي، انهي کي يقيني بڻائي ته هر ويفر کي هٿ ڪرڻ، اسٽوريج ۽ نقل و حمل دوران آلودگي ۽ جسماني نقصان کان آزاد رکيو وڃي.
اعلي پاڪائي، ڪيميائي مزاحمتي مواد سان ٺهيل، سيميراويفر ڪيسٽصفائي ۽ استحڪام جي اعلي سطح جي ضمانت ڏئي ٿي، پيداوار جي هر مرحلي تي ويفر جي سالميت کي برقرار رکڻ لاء ضروري آهي. انهن ڪيسٽن جي درستي واري انجنيئرنگ خودڪار هينڊلنگ سسٽم سان بيحد انضمام جي اجازت ڏئي ٿي، آلودگي ۽ ميڪيڪل نقصان جي خطري کي گھٽائڻ.
جي ڊيزائنويفر ڪيسٽبهترين هوا جي وهڪري ۽ درجه حرارت جي ڪنٽرول کي پڻ سپورٽ ڪري ٿو، جيڪو خاص ماحولياتي حالتن جي ضرورتن جي عملن لاء اهم آهي. ڇا صاف ڪمرن ۾ استعمال ڪيو وڃي يا حرارتي پروسيسنگ دوران، سيميسيراويفر ڪيسٽسيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي سخت مطالبن کي پورو ڪرڻ لاءِ انجنيئر ڪيو ويو آهي، پيداوار جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي معيار کي وڌائڻ لاءِ قابل اعتماد ۽ مسلسل ڪارڪردگي مهيا ڪرڻ.
| شيون | پيداوار | تحقيق | ڊمي |
| کرسٽل پيرا ميٽرز | |||
| پوليٽائپ | 4H | ||
| سطح جي واقفيت جي غلطي | <11-20 > 4±0.15° | ||
| اليڪٽرڪ پيٽرولر | |||
| ڊاپنٽ | n-نائيٽروجن جو قسم | ||
| مزاحمتي قوت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| مشيني پيراگراف | |||
| قطر | 150.0±0.2mm | ||
| ٿلهو | 350±25 μm | ||
| پرائمري فليٽ واقفيت | [1-100] ±5° | ||
| پرائمري فليٽ ڊگھائي | 47.5±1.5mm | ||
| ثانوي فليٽ | ڪو به | ||
| ٽي وي | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| ڪنڌ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| سامهون (سي-منهن) خرابي (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ساخت | |||
| مائڪروپائپ جي کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ڌاتو جي نجاست | ≤5E10 جوهر/cm2 | NA | |
| بي پي ڊي | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| ٽي ايس ڊي | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| اڳيون معيار | |||
| سامهون | Si | ||
| مٿاڇري ختم | سي ايم پي جو منهن | ||
| ذرڙا | ≤60ea/ويفر (سائز≥0.3μm) | NA | |
| ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm مجموعي ڊگھائي ≤ قطر | مجموعي ڊيگهه≤2 * قطر | NA |
| نارنگي جو ٿلهو/ کڏ/ داغ/ داغ/ داغ/ داغ/ آلودگي | ڪو به | NA | |
| ڪنڊ چپس/انڊينٽ/فريڪچر/هيڪس پليٽ | ڪو به | ||
| Polytype علائقن | ڪو به | مجموعي علائقو≤20% | مجموعي علائقو≤30% |
| سامهون ليزر نشان ھڻڻ | ڪو به | ||
| واپس معيار | |||
| پوئتي ختم | سي-منهن CMP | ||
| ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm، مجموعي ڊگھائي≤2* قطر | NA | |
| پوئتي عيب (ايجنڊ چپس/انڊينٽ) | ڪو به | ||
| پٺيءَ جي خرابي | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| پوئتي ليزر نشان ھڻڻ | 1 ملي ميٽر (مٿي ڪنڊ کان) | ||
| کنڊ | |||
| کنڊ | چمفر | ||
| پيڪنگنگ | |||
| پيڪنگنگ | ايپي-تيار ويڪيوم پيڪنگنگ سان ملٽي ويفر ڪيسٽ پيڪنگنگ | ||
| * نوٽس: "NA" جو مطلب آهي ڪابه درخواست نه آهي شيون جيڪي ذڪر نه ڪيون ويون آهن شايد SEMI-STD ڏانهن اشارو ڪيو وڃي. | |||
