Tantalum carbide coated susceptor سپورٽ پليٽھڪڙو susceptor يا سپورٽ ڍانچو آھي جيڪو ھڪڙي پتلي پرت سان ڍڪيل آھيtantalum carbide. هي ڪوٽنگ سسپيٽر جي مٿاڇري تي ٽيڪنالاجي جي ذريعي ٺاهي سگهجي ٿو جهڙوڪ جسماني بخار جمع (PVD) يا ڪيميائي وانپ جمع (CVD)، سسپيٽر کي اعلي خاصيتون ڏئي ٿو.tantalum carbide.
سيميسيرا مختلف اجزاء ۽ ڪيريئرز لاءِ خاص ٽينٽالم ڪاربائيڊ (TaC) ڪوٽنگ فراهم ڪري ٿي.سيميسيرا جي اڳواڻي ڪوٽنگ وارو عمل ٽينٽيلم ڪاربائيڊ (TaC) ڪوٽنگن کي قابل بڻائي ٿو اعليٰ پاڪيزگي، اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام ۽ اعليٰ ڪيميائي رواداري حاصل ڪرڻ لاءِ، SIC/GAN ڪرسٽل ۽ EPI پرت جي پيداوار جي معيار کي بهتر بڻائي ٿو.Graphite coated TaC susceptor)، ۽ اهم ريڪٽر اجزاء جي زندگي کي وڌائڻ. tantalum carbide TaC ڪوٽنگ جو استعمال ڪنارن جي مسئلي کي حل ڪرڻ ۽ ڪرسٽل جي ترقي جي معيار کي بهتر بڻائڻ آهي، ۽ سيميسيرا ڪاميابي سان حل ڪيو آهي tantalum carbide ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي (CVD)، بين الاقوامي ترقي يافته سطح تائين پهچندي.
سالن جي ترقي کان پوء، Semicera جي ٽيڪنالاجي کي فتح ڪيو آهيسي وي ڊي ٽي سيآر اينڊ ڊي ڊپارٽمينٽ جي گڏيل ڪوششن سان. SiC wafers جي واڌ جي عمل ۾ خرابيون آسان آهن، پر استعمال ڪرڻ کان پوءٽي سي، فرق اهم آهي. هيٺ ڏنل wafers جو هڪ مقابلو آهي TaC سان ۽ ان کان سواءِ، انهي سان گڏ سميسيرا جا حصا سنگل ڪرسٽل جي واڌ لاءِ.
tantalum carbide coated بنيادي حمايت پليٽ جي مکيه خاصيتون شامل آهن:
1. تيز گرمي پد جي استحڪام: ٽينٽيلم ڪاربائيڊ ۾ اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام آهي، جنهن سان ڪوٽيڊ بيس سپورٽ پليٽ کي اعليٰ درجه حرارت جي ڪم ڪندڙ ماحول ۾ سپورٽ جي ضرورتن لاءِ موزون بڻائي ٿو.
2. corrosion مزاحمت: Tantalum carbide ڪوٽنگ سٺي corrosion مزاحمت ڪئي، ڪيميائي corrosion ۽ oxidation جي مزاحمت ڪري سگهي ٿو، ۽ بنيادي جي خدمت زندگي کي وڌايو.
3. اعلي سختي ۽ لباس جي مزاحمت: tantalum ڪاربائڊ ڪوٽنگ جي اعلي سختي بنيادي سپورٽ پليٽ کي سٺي لباس مزاحمت ڏئي ٿي، جيڪا انهن موقعن لاء مناسب آهي جنهن ۾ اعلي لباس مزاحمت جي ضرورت هوندي آهي.
4. ڪيميائي استحڪام: ٽينٽيلم ڪاربائڊ کي مختلف قسم جي ڪيميائي مادو جي اعلي استحڪام آهي، انهي سان گڏ ڪوٽيڊ بنيادي سپورٽ پليٽ ڪجهه corrosive ماحول ۾ چڱي طرح انجام ڏئي ٿو.
TaC سان ۽ بغير
TaC استعمال ڪرڻ کان پوء (ساڄي)
ان کان سواء، Semicera جيTaC-coated مصنوعاتجي ڀيٽ ۾ هڪ ڊگهي خدمت زندگي ۽ وڌيڪ اعلي-پد حرارت جي مزاحمت جي نمائشسي سي ڪوٽنگ.ليبارٽري جي ماپ ڏيکاريا آهن ته اسان جيTaC ڪوٽنگوڌايل عرصي تائين 2300 درجا سينٽي گريڊ تائين گرمي پد تي مسلسل ڪم ڪري سگھي ٿو. هيٺ اسان جي نموني جا ڪجهه مثال آهن:
