CVD TaC ڪوٽنگ جو تعارف:
CVD TaC ڪوٽنگ هڪ ٽيڪنالاجي آهي جيڪا ڪيميائي وانپ جي ذخيري کي استعمال ڪندي tantalum carbide (TaC) ڪوٽنگ کي ذيلي ذخيرو جي مٿاڇري تي جمع ڪري ٿي. Tantalum carbide بهترين مشيني ۽ ڪيميائي مال سان هڪ اعلي ڪارڪردگي ceramic مواد آهي. CVD عمل گئس جي رد عمل جي ذريعي سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي هڪ يونيفارم TaC فلم ٺاهي ٿو.
مکيه خاصيتون:
بهترين سختي ۽ لباس مزاحمت: Tantalum carbide انتهائي تيز سختي آهي، ۽ CVD TaC ڪوٽنگ خاص طور تي ذيلي ذخيري جي لباس جي مزاحمت کي بهتر بڻائي سگھي ٿو. هي ڪوٽنگ کي اعلي لباس واري ماحول ۾ ايپليڪيشنن لاءِ مثالي بڻائي ٿو، جهڙوڪ ڪٽڻ جا اوزار ۽ ٺهيل.
اعلي درجه حرارت جي استحڪام: TaC ڪوٽنگون نازڪ فرنس ۽ ري ايڪٽر جي اجزاء کي 2200 ° C تائين گرمي پد تي محفوظ ڪن ٿيون، سٺي استحڪام جو مظاهرو ڪندي. اهو انتهائي درجه حرارت جي حالتن ۾ ڪيميائي ۽ ميخانياتي استحڪام کي برقرار رکي ٿو، ان کي اعلي درجه حرارت جي پروسيسنگ ۽ اعلي درجه حرارت جي ماحول ۾ ايپليڪيشنن لاء مناسب بڻائي ٿو.
بهترين ڪيميائي استحڪام: Tantalum carbide ۾ تمام تيزاب ۽ alkalis لاء مضبوط corrosion مزاحمت آهي، ۽ CVD TaC ڪوٽنگ مؤثر طريقي سان corrosive ماحول ۾ substrate کي نقصان کان بچائي سگهي ٿو.
بلند پگھلڻ وارو نقطو: ٽينٽيلم ڪاربائيڊ وٽ اعليٰ پگھلڻ وارو نقطو آهي (تقريبن 3880 ° سي)، CVD TaC ڪوٽنگ کي پگھلڻ يا خراب ٿيڻ کان سواءِ انتهائي تيز گرمي پد جي حالتن ۾ استعمال ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿي.
بهترين حرارتي چالکائي: TaC ڪوٽنگ اعلي حرارتي چالکائي آهي، جيڪا مؤثر طريقي سان تيز گرمي جي عملن ۾ گرمي کي ختم ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿي ۽ مقامي گرمي کي روڪڻ ۾ مدد ڪري ٿي.
ممڪن ايپليڪيشنون:
• Gallium Nitride (GaN) ۽ Silicon Carbide epitaxial CVD ري ايڪٽر جزا جن ۾ ويفر ڪيريئر، سيٽلائيٽ ڊش، شاور هيڊ، ڇت، ۽ سسيپٽر شامل آهن
• سلڪون ڪاربائيڊ، گيليم نائٽرائڊ ۽ ايلومينيم نائٽرائڊ (AlN) ڪرسٽل ترقي جا حصا جن ۾ ڪرسيبلز، سيڊ هولڊرز، گائيڊ رينگز ۽ فلٽر
صنعتي اجزاء جن ۾ مزاحمتي حرارتي عناصر، انجيڪشن نوزل، ماسڪنگ رينگز ۽ بريزنگ جيگ شامل آهن
ايپليڪيشن جون خاصيتون:
• گرمي پد 2000 ° C کان مٿي مستحڪم، انتهائي گرمي پد تي آپريشن جي اجازت ڏئي ٿي
هائيڊروجن (Hz)، امونيا (NH3)، monosilane (SiH4) ۽ سلکان (Si) جي خلاف مزاحمتي، سخت ڪيميائي ماحول ۾ تحفظ فراهم ڪري ٿي
• ان جي حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت تيزيءَ سان آپريٽنگ سائيڪلن کي قابل بڻائي ٿي
• Graphite کي مضبوط Adhesion آهي، هڪ ڊگهي خدمت زندگي ۽ ڪوٽنگ delamination کي يقيني بڻائي.
• غير ضروري نجاست يا آلودگي کي ختم ڪرڻ لاءِ الٽرا اعليٰ پاڪائي
• تنگ طول و عرض رواداري کي Conformal ڪوٽنگ ڪوريج
ٽيڪنيڪل وضاحتون:
CVD پاران گھڻا ٽينٽلم ڪاربائيڊ ڪوٽنگ جي تياري:
اعلي crystallinity ۽ شاندار يونيفارم سان TAC ڪوٽنگ:
CVD TAC ڪوٽنگ ٽيڪنيڪل پيٽرولر_Semicera:
| TaC ڪوٽنگ جي جسماني خاصيتون | |
| کثافت | 14.3 (g/cm³) |
| بلڪ ڪنسنٽريشن | 8 x 1015/cm |
| مخصوص اخراج | 0.3 |
| حرارتي توسيع جي گنجائش | 6.3 10-6/K |
| سختي (HK) | 2000 HK |
| گھڻي مزاحمت | 4.5 ohm-cm |
| مزاحمت | 1x10-5اوم * سينٽ |
| حرارتي استحڪام | <2500 ℃ |
| متحرڪ | 237 سينٽ2/ بمقابلہ |
| گرافائٽ جي سائيز ۾ تبديلي | -10~-20 ايم |
| ڪوٽنگ جي ٿلهي | ≥20um عام قدر (35um + 10um) |
مٿي ڄاڻايل قدر آهن.
