سلکان ويفر جي حرارتي آڪسائيڊ پرت هڪ آڪسائيڊ پرت يا سليڪا پرت آهي جيڪا سلڪون ويفر جي ننگي مٿاڇري تي آڪسائيڊنگ ايجنٽ سان تيز درجه حرارت جي حالتن هيٺ ٺهيل آهي.سلڪون ويفر جي حرارتي آڪسائيڊ پرت عام طور تي افقي ٽيوب فرنس ۾ پوکي ويندي آهي، ۽ واڌ جي درجه حرارت جي حد عام طور تي 900 ° C ~ 1200 ° C آهي، ۽ "گلي آڪسائيڊشن" ۽ "خشڪ آڪسائيڊيشن" جا ٻه ترقي جا طريقا آهن. حرارتي آڪسائيڊ پرت هڪ "وڌندڙ" آڪسائيڊ پرت آهي جنهن ۾ CVD جمع ٿيل آڪسائيڊ پرت کان وڌيڪ هڪجهڙائي ۽ وڌيڪ ڊائليڪٽرڪ طاقت آهي. حرارتي آڪسائيڊ پرت هڪ انسوليٽر جي طور تي هڪ بهترين ڊليڪٽرڪ پرت آهي. ڪيترن ئي سلڪون تي ٻڌل ڊوائيسز ۾، حرارتي آڪسائيڊ پرت هڪ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو جيئن هڪ ڊاپنگ بلاڪنگ پرت ۽ سطح ڊائلٽرڪ.
صلاحون: آڪسائيڊشن جو قسم
1. خشڪ آڪسائيڊشن
سلڪون آڪسيجن سان رد عمل ڪري ٿو، ۽ آڪسائيڊ پرت بيسل پرت ڏانهن وڌي ٿو. خشڪ آڪسائيڊشن کي 850 کان 1200 ° C جي گرمي پد تي ڪرڻ جي ضرورت آهي، ۽ ترقي جي شرح گهٽ آهي، جيڪا MOS موصليت جي دروازي جي واڌ لاء استعمال ڪري سگهجي ٿي. جڏهن هڪ اعلي معيار، الٽرا پتلي سلکان آڪسائيڊ پرت جي ضرورت هوندي آهي، خشڪ آڪسائيڊشن کي گندي آڪسائيڊ تي ترجيح ڏني ويندي آهي.
سڪل oxidation گنجائش: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. گلي آڪسائيڊشن
هي طريقو ~ 1000 ° C تي ساڙڻ لاءِ هائيڊروجن ۽ اعليٰ خالص آڪسيجن جو مرکب استعمال ڪري ٿو، اهڙيءَ طرح پاڻيءَ جي بخارات پيدا ڪري آڪسائيڊ پرت ٺاهي ٿي. جيتوڻيڪ گندو آڪسائيڊشن خشڪ آڪسائيڊشن جيتري اعليٰ معيار جي آڪسائيڊ پرت پيدا نٿو ڪري سگهي، پر ان کي استعمال ڪرڻ لاءِ ڪافي آهي، هڪ اڪيلائي واري علائقي جي طور تي، خشڪ آڪسائيڊشن جي مقابلي ۾ هڪ واضح فائدو اهو آهي ته ان جي ترقي جي شرح وڌيڪ آهي.
گندي آڪسائيڊشن جي گنجائش: 50nm ~ 15µm (500A ~ 15µm)
3. خشڪ طريقو - گندو طريقو - خشڪ طريقو
هن طريقي ۾، خالص خشڪ آڪسيجن کي شروعاتي اسٽيج تي آڪسائيڊشن فرنس ۾ آزاد ڪيو ويندو آهي، هائيڊروجن کي آڪسائيڊشن جي وچ ۾ شامل ڪيو ويندو آهي، ۽ هائيڊروجن کي آخر ۾ ذخيرو ڪيو ويندو آهي ته جيئن خالص خشڪ آڪسيجن سان آڪسائيڊريشن جاري رهي ته جيئن آڪسيجن جي ڀيٽ ۾ وڌيڪ ٿلهي آڪسائيڊ ڍانچي ٺاهي سگهجي. پاڻي ٻاڦ جي صورت ۾ عام گندي oxidation عمل.
4. TEOS آڪسائيڊشن
| آڪسائيڊريشن ٽيڪنڪ | گندي آڪسائيڊريشن يا خشڪ آڪسائيڊشن |
| قطر | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| آڪسائيڊ ٿولهه | 100 Å ~ 15µm |
| رواداري | +/- 5% |
| مٿاڇري | سنگل سائڊ آڪسائيڊشن (SSO) / ڊبل سائڊ آڪسائيڊشن (DSO) |
| ڀَٽي | افقي ٽيوب فرنس |
| گيس | هائيڊروجن ۽ آڪسيجن گيس |
| گرمي پد | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Refractive انڊيڪس | 1.456 |
