سيمسٽرSilicon Carbide Ceramic ڪوٽنگهڪ اعلي ڪارڪردگي حفاظتي ڪوٽنگ آهي جيڪو انتهائي سخت ۽ لباس جي مزاحمتي سلکان ڪاربائيڊ (SiC) مواد مان ٺهيل آهي. ڪوٽنگ عام طور تي CVD يا PVD عمل سان substrate جي مٿاڇري تي جمع ڪيو ويندو آهيsilicon carbide ذرات، بهترين ڪيميائي corrosion مزاحمت ۽ اعلي گرمي پد استحڪام مهيا ڪري. تنهن ڪري، Silicon Carbide سيرامڪ ڪوٽنگ وڏي پيماني تي استعمال ڪيو ويندو آهي اهم حصن ۾ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي سامان.
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾،سي سي ڪوٽنگ1600 ° C تائين انتهائي تيز گرمي پد کي برداشت ڪري سگهي ٿو، تنهنڪري سلکان ڪاربائيڊ سيرامڪ ڪوٽنگ اڪثر ڪري سامان يا اوزار لاء حفاظتي پرت طور استعمال ڪيو ويندو آهي ته جيئن تيز درجه حرارت يا corrosive ماحول ۾ نقصان کي روڪڻ لاء.
ساڳئي وقت ۾،silicon carbide ceramic ڪوٽنگتيزاب، alkalis، oxides ۽ ٻين ڪيميائي reagents جي erosion مزاحمت ڪري سگهي ٿو، ۽ ڪيميائي مادي جي هڪ قسم جي اعلي corrosion مزاحمت ڪئي آهي. تنهن ڪري، هي پراڊڪٽ سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ مختلف corrosive ماحول لاء مناسب آهي.
ان کان علاوه، ٻين سيرامڪ مواد جي مقابلي ۾، سي سي اعلي حرارتي چالکائي آهي ۽ مؤثر طور تي گرمي کي منظم ڪري سگهي ٿو. هي خاصيت اهو طئي ڪري ٿو ته سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾ جن کي درست درجه حرارت جي ڪنٽرول جي ضرورت هوندي آهي، اعلي حرارتي چالکائيSilicon Carbide Ceramic ڪوٽنگهڪجهڙائي سان گرميءَ کي منتشر ڪرڻ، مقامي گرميءَ کي روڪڻ ۾ مدد ڪري ٿي، ۽ يقيني بڻائي ٿي ته ڊوائيس بهتر درجه حرارت تي هلندي.
| CVD sic ڪوٽنگ جي بنيادي جسماني ملڪيت | |
| ملڪيت | عام قدر |
| کرسٽل جي جوڙجڪ | FCC β مرحلو polycrystalline، خاص طور تي (111) مبني |
| کثافت | 3.21 g/cm³ |
| سختي | 2500 Vickers سختي (500g لوڊ) |
| اناج جو سائز | 2 ~ 10 ملي ميٽر |
| ڪيميائي صفائي | 99.99995% |
| گرمي جي گنجائش | 640 J·kg-1· ڪي-1 |
| آبهوا جي درجه حرارت | 2700 ℃ |
| لچڪدار طاقت | 415 MPa RT 4 پوائنٽ |
| نوجوان جي ماڊلس | 430 Gpa 4pt موڙ، 1300 ℃ |
| حرارتي چالکائي | 300W·m-1· ڪي-1 |
| حرارتي توسيع (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
