آر ٽي پيCVD SiC رِنگزوڏي پيماني تي اعلي گرمي پد ۽ corrosive ماحول ۾ صنعتي ۽ سائنسي شعبن ۾ استعمال ٿيندا آهن. اهو سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار، آپٽو اليڪٽرانڪس، صحت واري مشينري ۽ ڪيميائي صنعت ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو. مخصوص ايپليڪيشنون شامل آهن:
1. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار:RTP CVD SiC رنگسيمي ڪنڊڪٽر سامان کي گرم ڪرڻ ۽ کولڻ لاءِ استعمال ڪري سگھجي ٿو، مستحڪم درجه حرارت ڪنٽرول مهيا ڪرڻ ۽ عمل جي درستگي ۽ تسلسل کي يقيني بڻائڻ.
2. Optoelectronics: ان جي بهترين حرارتي چالکائي ۽ اعلي درجه حرارت جي مزاحمت جي ڪري، RTPCVD SiC رِنگزليزر، فائبر آپٽڪ ڪميونيڪيشن سامان ۽ آپٽيڪل پرزنٽ لاءِ سپورٽ ۽ گرمي پد واري مواد طور استعمال ڪري سگھجي ٿو.
3. پريسيئن مشينري: RTP CVD SiC رِنگس تيز گرمي پد ۽ corrosive ماحول ۾ درست آلات ۽ سامان لاءِ استعمال ڪري سگھجن ٿيون، جھڙوڪ تيز گرمي پد جون ڀتيون، ويڪيوم ڊيوائسز ۽ ڪيميائي ري ايڪٽر.
4. ڪيميائي صنعت: ان جي corrosion مزاحمت ۽ ڪيميائي استحڪام جي ڪري، RTP CVD SiC انگن کي ڪنٽينرز، پائپ ۽ ريڪٽرز ۾ ڪيميائي رد عمل ۽ ڪيٽيليٽڪ عملن ۾ استعمال ڪري سگهجي ٿو.
ايپي سسٽم
آر ٽي پي سسٽم
سي وي ڊي سسٽم
پيداوار جي ڪارڪردگي:
1. 28nm هيٺ ڏنل عمل سان ملن
2. سپر corrosion مزاحمت
3. سپر صاف ڪارڪردگي
4. سپر سختي
5. اعلي کثافت
6. هاء گرمي پد مزاحمت
7. وار مزاحمت
پيداوار جي درخواست:
Silicon carbide مواد اعلي سختي، لباس مزاحمت، corrosion مزاحمت ۽ اعلي گرمي پد جي استحڪام جون خاصيتون آهن. بهترين جامع ڪارڪردگي سان مصنوعات وڏي پيماني تي خشڪ نقاشي ۽ TF/Diffusion جي عملن ۾ استعمال ٿينديون آهن.
پيداوار جي ڪارڪردگي:
1. 28nm هيٺ ڏنل عمل سان ملن
2. سپر corrosion مزاحمت
3. سپر صاف ڪارڪردگي
4. سپر سختي
5. اعلي کثافت
6. هاء گرمي پد مزاحمت
7. وار مزاحمت
جامع عمل جي ترقي:
• Graphite + SiC ڪوٽنگ
• سولائيز سي وي ڊي سي سي
• sintered SiC+CVD
• SicSintered SiC
گھڻن پيداوار قسم جي ترقي:
• انگوٽي
• ٽيبل
• سوسيپٽر
• شاور سر