سيمسٽرپيش ڪرڻ تي راضي آهيPFA ڪيسٽ، ماحول ۾ ويفر سنڀالڻ لاءِ هڪ پريميئم پسند جتي ڪيميائي مزاحمت ۽ استحڪام تمام اهم آهن. اعليٰ پاڪائي واري Perfluoroalkoxy (PFA) مواد مان تيار ڪيل، هي ڪيسٽ سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهن ۾ تمام گهڻي گهربل حالتن کي منهن ڏيڻ لاءِ ٺهيل آهي، توهان جي ويفرن جي حفاظت ۽ سالميت کي يقيني بڻائي ٿي.
بي مثال ڪيميائي مزاحمتجيPFA ڪيسٽکيمياڻين جي وسيع رينج کي اعليٰ مزاحمت مهيا ڪرڻ لاءِ انجنيئر ڪيو ويو آهي، ان کي پروسيس لاءِ هڪ بهترين انتخاب آهي جنهن ۾ جارحتي تيزاب، سالوينٽس ۽ ٻيا سخت ڪيميائي شامل آهن. هي مضبوط ڪيميائي مزاحمت انهي ڳالهه کي يقيني بڻائي ٿي ته ڪيسٽ برقرار رهي ۽ فعال رهي جيتوڻيڪ انتهائي corrosive ماحول ۾، ان ڪري ان جي عمر وڌائي ٿي ۽ بار بار متبادل جي ضرورت کي گھٽائي ٿي.
اعلي صفائي جي تعميرسيميسيراPFA ڪيسٽالٽرا خالص PFA مواد مان ٺهيل آهي، جيڪو ويفر پروسيسنگ دوران آلودگي کي روڪڻ ۾ اهم آهي. هي اعليٰ پاڪائي واري اڏاوت ذرڙن جي پيداوار ۽ ڪيميائي ليچنگ جي خطري کي گهٽائي ٿي، انهي ڳالهه کي يقيني بڻائي ٿي ته توهان جا ويفر نجاستن کان محفوظ آهن جيڪي انهن جي معيار کي خراب ڪري سگهن ٿيون.
وڌايل استحڪام ۽ ڪارڪردگياستحڪام لاء ٺهيل،PFA ڪيسٽانتهائي گرمي پد ۽ سخت پروسيسنگ حالتن جي تحت ان جي ساخت جي سالميت کي برقرار رکي ٿو. ڇا اعليٰ درجه حرارت جي سامهون هجي يا بار بار هٿ ڪرڻ جي تابع هجي، هي ڪيسٽ پنهنجي شڪل ۽ ڪارڪردگي کي برقرار رکي ٿي، پيداوار واري ماحول جي طلب ۾ ڊگهي مدت جي اعتبار جي آڇ ڪري ٿي.
محفوظ سنڀالڻ لاءِ صحت واري انجنيئرنگجيسيميسيرا پي ايف اي ڪيسٽخاصيتن جي درست انجنيئرنگ جيڪا يقيني بڻائي ٿي محفوظ ۽ مستحڪم ويفر هينڊلنگ. ھر سلاٽ کي احتياط سان ٺاھيو ويو آھي ويفرز کي محفوظ طور تي جاءِ تي رکڻ لاءِ، ڪنھن حرڪت کي روڪڻ يا ڦيرائڻ جو نتيجو نقصان پھچائي سگھي ٿو. هي سڌائي واري انجنيئرنگ مسلسل ۽ صحيح ويفر جي جڳهه جي حمايت ڪري ٿي، مجموعي عمل جي ڪارڪردگي ۾ حصو وٺندي.
ورسٽائل ايپليڪيشن سڄي عمل ۾ان جي اعلي مادي خاصيتن جي مهرباني، جيPFA ڪيسٽسيمي ڪنڊڪٽر ٺاھڻ جي مختلف مرحلن ۾ استعمال ٿيڻ لاءِ ڪافي ورڇيل آھي. اهو خاص طور تي ويٽ ايچنگ، ڪيميائي وانپ جمع (CVD) ۽ ٻين عملن لاءِ مناسب آهي جنهن ۾ سخت ڪيميائي ماحول شامل آهن. ان جي موافقت ان کي عمل جي سالميت ۽ ويفر جي معيار کي برقرار رکڻ ۾ هڪ لازمي اوزار بڻائي ٿي.
معيار ۽ جدت لاء عزمSemicera تي، اسان پراڊڪٽس مهيا ڪرڻ لاء پرعزم آهيون جيڪي اعلي صنعت جي معيار کي پورا ڪن ٿيون. جيPFA ڪيسٽهن وابستگي جو مثال ڏئي ٿو، هڪ قابل اعتماد حل پيش ڪري ٿو جيڪو توهان جي پيداوار جي عملن ۾ بيحد ضم ڪري ٿو. هر ڪيسٽ سخت معيار جي ڪنٽرول مان گذري ٿي انهي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته اها اسان جي سخت ڪارڪردگي جي معيار تي پورو لهي ٿي، جيڪا توهان سيميسيرا کان توقع ڪئي آهي اها بهترين پيش ڪري ٿي.
| شيون | پيداوار | تحقيق | ڊمي |
| کرسٽل پيرا ميٽرز | |||
| پوليٽائپ | 4H | ||
| سطح جي واقفيت جي غلطي | <11-20 > 4±0.15° | ||
| اليڪٽرڪ پيٽرولر | |||
| ڊاپنٽ | n-نائيٽروجن جو قسم | ||
| مزاحمتي قوت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| مشيني پيراگراف | |||
| قطر | 150.0±0.2mm | ||
| ٿلهو | 350±25 μm | ||
| پرائمري فليٽ واقفيت | [1-100] ±5° | ||
| پرائمري فليٽ ڊگھائي | 47.5±1.5mm | ||
| ثانوي فليٽ | ڪو به | ||
| ٽي وي | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| ڪنڌ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| سامهون (سي-منهن) خرابي (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ساخت | |||
| مائڪروپائپ جي کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ڌاتو جي نجاست | ≤5E10 جوهر/cm2 | NA | |
| بي پي ڊي | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| ٽي ايس ڊي | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| اڳيون معيار | |||
| سامهون | Si | ||
| مٿاڇري ختم | سي ايم پي جو منهن | ||
| ذرڙا | ≤60ea/ويفر (سائز≥0.3μm) | NA | |
| ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm مجموعي ڊگھائي ≤ قطر | مجموعي ڊيگهه≤2 * قطر | NA |
| نارنگي جو ٿلهو/ کڏ/ داغ/ داغ/ داغ/ داغ/ آلودگي | ڪو به | NA | |
| ايج چپس/انڊينٽ/فريڪچر/هيڪس پليٽون | ڪو به | ||
| Polytype علائقن | ڪو به | مجموعي علائقو≤20% | مجموعي علائقو≤30% |
| سامهون ليزر نشان ھڻڻ | ڪو به | ||
| واپس معيار | |||
| پوئتي ختم | سي-منهن CMP | ||
| ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm، مجموعي ڊگھائي≤2* قطر | NA | |
| پوئتي عيب (ايجنڊ چپس/انڊينٽ) | ڪو به | ||
| پٺيءَ جي خرابي | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| پوئتي ليزر نشان ھڻڻ | 1 ملي ميٽر (مٿي ڪنڊ کان) | ||
| کنڊ | |||
| کنڊ | چمفر | ||
| پيڪنگنگ | |||
| پيڪنگنگ | ايپي-تيار ويڪيوم پيڪنگنگ سان ملٽي ويفر ڪيسٽ پيڪنگنگ | ||
| * نوٽس: "NA" جو مطلب آهي ڪابه درخواست نه آهي شيون جيڪي ذڪر نه ڪيون ويون آهن شايد SEMI-STD ڏانهن اشارو ڪيو وڃي. | |||
