ويفر ڪيريئر جو تعارف
پيداوار جي ڪيٽيگري
▶PECVD ۽ TALOX پروسيس لاءِ ويفر ڪيريئر سسٽم
• PECVD ۽ TALOX گرافائٽ بوٽ (M4~M12)
• عمودي ايس ايم-بوٽ (M4، M6)
• امپلانٽ ۽ شاور گرافائٽ پارٽ (M4~M6)
• C/C ٽري ۽ سيرامڪ ڪوٽنگ
• ڌاتو RIE-ٽري ۽ سيرامڪ ڪوٽنگ
• ويڪيوم سيلنگ: O-Ring & SQ-Ring
▶بناوت ۽ ويٽ ايچنگ جي منتقلي جو عمل
• LSC H-ڪيريئر يا ڪيسٽ (M4~M12)
LSC V-ڪيريئر يا ڪيسٽ (M4~M12)
• ASC ڪيريئر يا ڪيسٽ (M4, M6)
W/F ڪيريئر ۽ اسٽوريج باڪس (M4~M12)
• ٽرانسپورٽ ويل (رولر) سيريز
▶شمسي سيل ڪيريئر ۽ ڌاتو ڪيريئر
• TRC ڪيريئر يا ڪيسٽ (M4~M12)
• ميگزين (BELT سان)
گريفائيٽ بوٽ (H-قسم)
19P6-216CT (WF M4~M12)
گريفائيٽ بوٽ (H-قسم)
21P6-240CT WF M4~M12)
گريفائيٽ بوٽ (H-قسم)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
گريفائيٽ بوٽ (H-قسم)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
گريفائيٽ بوٽ (H-قسم)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF ڪيريئر ۽ اسٽوريج باڪس (~M12)
C/C ٽري يا ڪيريئر (M4~M10)
C/C ٽري يا ڪيريئر (M4~M10)
عمودي ٻيڙي (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~M12)
LSC-V-CARRIER (~M12)
ASC ڪيريئر (~M6)
TRC ڪيريئر (~M12)
TRC ڪيريئر (~M12)
گرافائٽ ٻيڙي (M12)
پي اي سي وي ڊي پروسيس لاءِ ويفر ڪيريئر سسٽم
▶ گرافائٽ بوٽ (CT-ڊزائن ٿيل) M10/M12 پروسيس
• خاص ڊزائن جو تصور
▶ گرافائٽ بوٽ (CT-Designed) M4/M6 پروسيس
▶ بوٽ جا لوازمات
▶ عمدي ٻيڙي - 161.7mm ويفر
▶ عمدي ٻيڙي - 166mm ويفر
▶ عمودي ٻيڙي - 161.7mm، 166mm ويفر
شمسي سيل ڪيريئر ۽ ڌاتو TRC ڪيريئر
قسم: خودڪار
ويفر جي ماپ: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
استعمال: کڻڻ (ڪيسيٽ)
ظرفيت: 100 شيٽ
پچ: 4.76mm/5.953mm/6.35mm
ماپ: تقريبن 559 × 220 × 220 ايم ايم
تقريبن 712 × 260 × 260 ايم ايم
فائدو: ماحول
مواد: شعل، سائڊ بار-ايلومينيم (anodizing)
سائڊ پليٽ-پوم (انسٽيٽيٽڪ)
هيٺيون بار جو ڍڪ- EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-ميٽيل ڪيريئر (يو ايس اي آر لائن)
TRC-ميٽيل ڪيريئر (يو ايس اي آر لائن)
TRC-ميٽيل ڪيريئر (يو ايس اي آر لائن)
شاور پليٽ ۽ امپلانٽ، ڪيريئر
