جيMOCVDطريقو هڪ تمام مستحڪم عمل آهي جيڪو هن وقت صنعت ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي اعليٰ معيار جي سنگل ڪرسٽل ٿلهي فلمن کي وڌائڻ لاءِ، جهڙوڪ سنگل فيز InGaN ايپيليئرز، III-N مواد، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر فلمون جن ۾ ملٽي ڪوانٽم ويل ڍانچي، ۽ وڏي اهميت رکي ٿي. سيمي ڪنڊڪٽر ۽ آپٽو اليڪٽرانڪ ڊوائيسز جي پيداوار.
جيسي سي ڪوٽنگ MOCVD susceptorهڪ خاص ويفر هولڊر آهي جيڪو سلکان ڪاربائڊ (SiC) سان ڍڪيل آهيepitaxial ڌاتو جي نامياتي ڪيميائي وانپ جمع (MOCVD) جي عمل ۾ واڌ.
سي سي جي ڪوٽنگ ۾ بهترين ڪيميائي مزاحمت ۽ حرارتي استحڪام آهي، اهو هڪ مثالي انتخاب ٺاهيندي MOCVD susceptors لاءِ استعمال ٿيل epitaxial ترقي جي عمل جي طلب ۾.
MOCVD پروسيس جو هڪ اهم حصو سسپيٽر آهي، جيڪو هڪ اهم عنصر آهي انهي کي يقيني بڻائڻ لاء هڪجهڙائي ۽ معيار جي پيداوار پتلي فلمن جي.
هڪ susceptor ڇا آهي؟ سسپيٽر هڪ خاص جزو آهي جيڪو MOCVD جي عمل ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي ان کي سپورٽ ڪرڻ ۽ گرم ڪرڻ لاءِ جنهن تي پتلي فلم جمع ڪئي ويندي آهي. ان ۾ ڪيترائي ڪم آهن، جن ۾ برقياتي مقناطيسي توانائي جذب ڪرڻ، ان کي گرميءَ ۾ تبديل ڪرڻ، ۽ برابريءَ سان گرميءَ کي ذيلي ذخيري تي ورهائڻ شامل آهن. هي يونيفارم گرم ڪرڻ ضروري آهي ته يونيفارم پتلي فلمن جي ترقي لاءِ صحيح ٿلهي ۽ ساخت سان.
susceptors جا قسم:
1. Graphite susceptors: Graphite susceptors اڪثر حفاظتي پرت سان ڍڪيل هوندا آهن جيئن تهسلکان ڪاربائيڊ (سي سي)، جيڪو ان جي اعلي حرارتي چالکائي ۽ استحڪام لاءِ مشهور آهي. جيسي سي ڪوٽنگهڪ سخت، حفاظتي مٿاڇري فراهم ڪري ٿي جيڪا تيز گرمي پد تي سنکنرن ۽ تباهي جي مزاحمت ڪري ٿي.
2. Silicon carbide (SiC) susceptors: اهي susceptors مڪمل طور تي SiC مان ٺهيل آهن ۽ بهترين حرارتي استحڪام ۽ لباس مزاحمت آهن. سي سي susceptors خاص طور تي مناسب آهن تيز گرمي پد جي عمل ۽ corrosive ماحول لاء.
MOCVD ۾ مشڪوڪ ڪيئن ڪم ڪن ٿا:
MOCVD جي عمل ۾، اڳوڻن کي رد عمل واري چيمبر ۾ متعارف ڪرايو ويندو آهي جتي اهي ٺهڪندڙ ۽ رد عمل ڪري سبسٽريٽ تي هڪ پتلي فلم ٺاهيندا آهن. سسيپٽر هڪ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو انهي کي يقيني بڻائي ته سبسٽريٽ کي هڪجهڙائي سان گرم ڪيو وڃي، جيڪو پوري سبسٽرٽ جي مٿاڇري تي مسلسل فلمي ملڪيت حاصل ڪرڻ لاءِ اهم آهي. susceptor جي مواد ۽ ڊيزائن کي احتياط سان چونڊيو ويو آهي خاص ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ جمع ڪرڻ جي عمل جي، جهڙوڪ درجه حرارت جي حد ۽ ڪيميائي مطابقت.
اعلي معيار جي susceptors استعمال ڪرڻ جا فائدا:
• بهتر ڪيل فلم جي معيار: يونيفارم گرمي ورهائڻ جي ذريعي، سسپيٽر فلمن کي مسلسل موٽائي ۽ ساخت سان حاصل ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو، جيڪا سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي ڪارڪردگي لاء اهم آهي.
• بهتر عمل جي ڪارڪردگي: اعليٰ معيار جي سسيپٽرز MOCVD جي عمل جي مجموعي ڪارڪردگي کي وڌائين ٿا نقصن جي امڪان کي گهٽائڻ ۽ استعمال لائق فلمن جي پيداوار کي وڌائيندي.
• عمر ۽ اعتبار: پائيدار مواد مان ٺهيل سسپيٽرز جهڙوڪ SiC ڊگھي مدت جي اعتبار کي يقيني بڻائي ٿو ۽ سار سنڀال جي خرچن کي گھٽائي ٿو.
سسپيٽر MOCVD پروسيس ۾ هڪ لازمي جزو آهي ۽ سڌو سنئون فلم جي ذخيري جي معيار ۽ ڪارڪردگي کي متاثر ڪري ٿو. دستياب سائيز، MOCVD susceptors ۽ قيمتن تي وڌيڪ معلومات لاء، مهرباني ڪري اسان سان رابطو ڪرڻ ۾ سنکوڪ نه ڪريو. اسان جا انجنيئر توهان کي مناسب مواد تي مشورو ڏيڻ ۽ توهان جي سڀني سوالن جا جواب ڏيڻ لاء خوش ٿيندا.
فون: +86-13373889683
واٽس ايپ: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-12-2024