Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) هڪ اهم عمل آهي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾، جتي اعليٰ معيار جون ٿلهي فلمون سبسٽرن تي جمع ڪيون وينديون آهن. MOCVD عمل جو هڪ اهم حصو susceptor آهي، هڪ اهم عنصر جيڪو ٺاهيل فلمن جي هڪجهڙائي ۽ معيار کي يقيني بڻائڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو.
هڪ Susceptor ڇا آهي؟ هڪ سسيپٽر هڪ خاص جزو آهي جيڪو MOCVD پروسيس ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي ان سبسٽريٽ کي سپورٽ ڪرڻ ۽ گرم ڪرڻ لاءِ جنهن تي پتلي فلمون جمع ڪيون وينديون آهن. اهو ڪيترن ئي ڪمن جي خدمت ڪري ٿو، بشمول برقياتي مقناطيسي توانائي جذب ڪرڻ، ان کي گرميء ۾ تبديل ڪرڻ، ۽ هڪجهڙائي سان هن گرمي کي سڀني ذيلي ذخيرو ۾ ورهائڻ. هي يونيفارم گرم ڪرڻ ضروري آهي هڪجهڙائي واري فلمن جي ترقي لاءِ صحيح ٿلهي ۽ ساخت سان.
Susceptors جا قسم:
1. Graphite Susceptors: عام طور تي حفاظتي پرت سان ڍڪيل، جهڙوڪسلکان ڪاربائيڊ (سي سي)graphite susceptors انهن جي اعلي حرارتي چالکائي ۽ استحڪام لاء مشهور آهن. جيسي سي ڪوٽنگهڪ سخت، حفاظتي مٿاڇري فراهم ڪري ٿي جيڪا تيز گرمي پد تي سنکنرن ۽ تباهي جي مزاحمت ڪري ٿي.
2. Silicon Carbide (SiC) Susceptors: اهي مڪمل طور تي سي سي مان ٺهيل آهن، بهترين حرارتي استحڪام ۽ پائڻ ۽ آنسو جي مزاحمت پيش ڪن ٿا.سي سي suceptorsخاص طور تي اعلي-پد حرارت جي عمل ۽ corrosive ماحول لاء مناسب آهن.
ڪيئنشڪي ڪندڙMOCVD ۾ ڪم:
MOCVD جي عمل ۾، اڳوڻن کي ري ايڪٽر جي چيمبر ۾ متعارف ڪرايو ويندو آهي، جتي اهي سڙي ويندا آهن ۽ سبسٽريٽ تي هڪ پتلي فلم ٺاهڻ لاء رد عمل ڪندا آهن. سسيپٽر هڪ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو انهي ڳالهه کي يقيني بڻائي ته سبسٽريٽ کي هڪجهڙائي سان گرم ڪيو وڃي، جيڪو پوري ذيلي سطح تي مسلسل فلمي ملڪيت حاصل ڪرڻ لاءِ اهم آهي. سسپيٽر جي مواد ۽ ڊيزائن کي احتياط سان چونڊيو ويو آهي مخصوص ضرورتن سان ملائڻ لاءِ جمع ڪرڻ جي عمل جي، جهڙوڪ درجه حرارت جي حد ۽ ڪيميائي مطابقت.
استعمال ڪرڻ جا فائدااعلي معيار جي susceptors:
• بهتر ڪيل فلم جي معيار: يونيفارم گرمي ورهائڻ جي ذريعي، susceptors مسلسل موٽائي ۽ ساخت سان فلمن کي حاصل ڪرڻ ۾ مدد ڪن ٿيون، جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي ڪارڪردگي لاء ضروري آهي.
• وڌايل عمل جي ڪارڪردگي: اعليٰ معيار جا سُسيپٽر MOCVD عمل جي مجموعي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائيندا آھن نقص جي امڪان کي گھٽائڻ ۽ استعمال لائق فلمن جي پيداوار کي وڌائيندي.
• ڊگھي عمر ۽ ڀروسي: پائيدار مواد مان ٺهيل سسپيٽرز جهڙوڪ SiC ڊگھي مدت جي اعتبار کي يقيني بڻائين ٿا ۽ سار سنڀال جي گھٽ خرچن کي يقيني بڻائين ٿا.
نتيجو: سسپيٽر MOCVD عمل ۾ هڪ لازمي جزو آهي، سڌو سنئون فلم جي ذخيري جي معيار ۽ ڪارڪردگي تي اثر انداز ڪري ٿو. صحيح susceptor مواد ۽ ڊيزائن کي چونڊڻ سان، سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهيندڙن کي انهن جي عمل کي بهتر بڻائي سگهجي ٿو، نتيجي ۾ بهتر ڊوائيس ڪارڪردگي ۽ گهٽ پيداوار جي قيمت. جيئن ته اعلي ڪارڪردگي برقي ڊوائيسز جي طلب وڌندي رهي ٿي، اعلي معيار جي MOCVD susc جي اهميت
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-12-2024