ويفر جي مٿاڇري جي آلودگي ۽ ان جو پتو لڳائڻ جو طريقو

جي صفائيwafer سطحبعد ۾ سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس ۽ مصنوعات جي قابليت جي شرح کي تمام گهڻو متاثر ڪندو. 50 سيڪڙو تائين سڀني پيداوار جي نقصان جي ڪري ٿيwafer سطحآلودگي.

شيون جيڪي ڊوائيس جي برقي ڪارڪردگي يا ڊوائيس جي پيداوار جي عمل ۾ غير ڪنٽرول تبديلين جو سبب بڻجن ٿيون، مجموعي طور تي آلودگي طور حوالو ڏنو ويو آهي. آلودگي خود ويفر، صاف ڪمري، پروسيس اوزار، پروسيس ڪيميائي يا پاڻي مان اچي سگھي ٿي.وافرآلودگي عام طور تي بصري مشاهدي، پروسيس جي چڪاس، يا آخري ڊوائيس ٽيسٽ ۾ پيچيده تجزياتي سامان جي استعمال سان ڳولي سگهجي ٿو.

▲سلڪون ويفرز جي مٿاڇري تي آلودگي | تصويري ذريعو نيٽ ورڪ

آلودگي جي تجزيي جا نتيجا استعمال ڪري سگهجن ٿا درجي ۽ قسم جي آلودگي کي ظاهر ڪرڻ لاءِ.ويفرهڪ خاص عمل جي قدم ۾، هڪ مخصوص مشين يا مجموعي عمل. تشخيص جي طريقن جي درجه بندي جي مطابق،wafer سطحآلودگي کي هيٺين قسمن ۾ ورهائي سگهجي ٿو.

ڌاتو آلودگي

ڌاتن جي ڪري آلودگي مختلف درجي جي سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيس جي خرابين جو سبب بڻجي سگهي ٿي.
Alkali metals يا alkaline Earth metals (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, etc.) pn جي ڍانچي ۾ ڪرنٽ جو سبب بڻجي سگھي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ آڪسائيڊ جي وولٽيج جي ڀڃڪڙي ٿئي ٿي. منتقلي ڌاتو ۽ ڳري ڌاتو (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, etc.) آلودگي ڪيريئر جي زندگي جي چڪر کي گھٽائي سگھي ٿي، جزو جي سروس جي زندگي کي گھٽائي سگھي ٿي يا جزوي ڪم ڪري رھيا آھن ته اونداھي موجوده وڌائي سگھي ٿي.

ڌاتو جي آلودگي کي معلوم ڪرڻ لاءِ عام طريقا ڪل ريفلڪشن ايڪس ري فلوروسينس، ايٽمي جذب ڪرڻ واري اسپيڪٽرو اسڪوپي ۽ انڊڪٽيڪل طور تي ملندڙ پلازما ماس اسپيڪٽروميٽري (ICP-MS) آهن.

▲ ويفر مٿاڇري آلودگي | ريسرچ گيٽ

ڌاتو جي آلودگي صاف ڪرڻ، ايچنگ، ليٿوگرافي، جمع ڪرڻ، وغيره ۾ استعمال ٿيندڙ ريگينٽس مان ٿي سگھي ٿي، يا پروسيس ۾ استعمال ٿيندڙ مشينن مان، جهڙوڪ اوون، ريڪٽر، آئن امپلانٽيشن وغيره، يا اهو ٿي سگهي ٿو بي پرواهه ويفر هينڊلنگ جي ڪري.

ذرات جي آلودگي

حقيقي مادي ذخيرا عام طور تي مٿاڇري جي خرابين مان پکڙيل روشني کي ڳولڻ سان مشاهدو ڪيا ويندا آهن. تنهن ڪري، ذرات جي آلودگي لاء وڌيڪ صحيح سائنسي نالو روشني پوائنٽ عيب آهي. ذرات جي آلودگي ايچنگ ۽ ليٿوگرافي جي عملن ۾ بلاڪنگ يا ماسڪنگ اثرات پيدا ڪري سگھي ٿي.

فلم جي واڌ يا جمع ڪرڻ دوران، پن هول ۽ مائڪرو ويڊس ٺاهيا ويندا آهن، ۽ جيڪڏهن ذرات وڏا ۽ هلائيندڙ آهن، اهي به شارٽ سرڪٽ جو سبب بڻجي سگهن ٿا.

▲ ذرات جي آلودگي جي ٺهڻ | تصويري ذريعو نيٽ ورڪ

ننڍي ذرات جي آلودگي سطح تي ڇانو پيدا ڪري سگهي ٿي، جهڙوڪ فوٽوولوگرافي دوران. جيڪڏهن وڏا ذرات فوٽوماسڪ ۽ فوٽو ريسٽ پرت جي وچ ۾ واقع آهن، اهي رابطي جي نمائش جي قرارداد کي گهٽائي سگهن ٿيون.

ان کان علاوه، اهي آئن امپلانٽيشن يا خشڪ ايچنگ دوران تيز آئن کي بلاڪ ڪري سگهن ٿا. ذرڙا شايد فلم جي ذريعي ڳنڍي سگهجن ٿيون، تنهنڪري اتي bumps ۽ bumps آهن. بعد ۾ جمع ٿيل پرت شايد انهن هنڌن تي گڏ ٿيڻ جي خلاف ڀڃڪڙي يا مزاحمت ڪري سگهي ٿي، نمائش دوران مسئلا پيدا ڪري ٿي.

نامياتي آلودگي

ڪاربان تي مشتمل آلودگي، انهي سان گڏ C سان لاڳاپيل بانڊنگ ڍانچي کي نامياتي آلودگي سڏيو ويندو آهي. نامياتي آلودگي شايد غير متوقع هائيڊروفوبڪ ملڪيت جي ڪري سگھي ٿيwafer سطح، مٿاڇري جي خرابي کي وڌايو، هڪ ٻرندڙ مٿاڇري پيدا ڪريو، ايپيٽيڪسيل پرت جي واڌ کي روڪيو، ۽ ڌاتو جي آلودگي جي صفائي جي اثر کي متاثر ڪيو جيڪڏهن آلودگي پهرين نه هٽايو وڃي.

اهڙي مٿاڇري جي آلودگي عام طور تي اوزارن جي ذريعي معلوم ٿئي ٿي جهڙوڪ حرارتي desorption MS، X-ray photoelectron spectroscopy، ۽ Auger electron spectroscopy.

▲تصوير جو ذريعو نيٽ ورڪ

گيس آلودگي ۽ پاڻي جي آلودگي

ماحوليات جا ماليڪيولز ۽ پاڻيءَ جي آلودگي کي ماليڪيولر سائيز سان عام طور تي عام اعليٰ ڪارڪردگي واري ذرات واري ايئر (HEPA) يا الٽرا لو پينيٽريشن ايئر فلٽرز (ULPA) ذريعي نه هٽايو ويندو آهي. اهڙي آلودگي عام طور تي آئن ماس اسپيڪٽروميٽري ۽ ڪيپيلري الیکٹروفورسس جي نگراني ڪئي ويندي آهي.

ڪجھ آلودگي ڪيترن ئي قسمن سان تعلق رکي سگھن ٿا، مثال طور، ذرات نامياتي يا دھاتي مواد، يا ٻئي مان ٺھي سگھن ٿا، تنھنڪري ھن قسم جي آلودگي کي ٻين قسمن جي طور تي پڻ درجه بندي ڪري سگھجي ٿو.

 

▲ گيسس ماليڪيولر آلودگي | IONICON

ان کان علاوه، ويفر آلودگي کي آلوڪيولر آلودگي، ذرات جي آلودگي، ۽ پروسيس مان نڪتل ملبي آلودگي آلودگي جي ماخذ جي ماپ مطابق پڻ درجه بندي ڪري سگهجي ٿو. آلودگي واري ذرڙي جي سائيز جيتري ننڍي هوندي، ان کي ختم ڪرڻ وڌيڪ ڏکيو هوندو آهي. اڄ جي اليڪٽرانڪ اجزاء جي پيداوار ۾، ويفر جي صفائي جي طريقيڪار سڄي پيداوار جي عمل جي 30٪ - 40٪ لاء اڪائونٽ آهي.

 

▲سلڪون ويفرز جي مٿاڇري تي آلودگي | تصويري ذريعو نيٽ ورڪ