واڌ جي تصديق
جيسلکان ڪاربائيڊ (سي سي)ٻج ڪرسٽل تيار ڪيا ويا بيان ڪيل عمل جي پٺيان ۽ تصديق ٿيل سي سي ڪرسٽل ترقي ذريعي. ترقي جو پليٽ فارم استعمال ڪيو ويو هڪ خود ترقي يافته سي سي انڊڪشن ترقي واري فرنس سان 2200 ℃ جي واڌ جي درجه حرارت، 200 Pa جي ترقي جو دٻاء، ۽ 100 ڪلاڪن جي واڌ جي مدت.
تياري شامل آهي a6 انچ سي سي ويفرٻنهي ڪاربن ۽ سلکان منهن سان پالش، aويفر≤10 µm جي ٿولهه جي هڪجهڙائي، ۽ هڪ سلکان منهن جي ٿلهي ≤0.3 nm جي. هڪ 200 ملي ميٽر قطر، 500 µm ٿلهو گريفائٽ پيپر، گلو، الڪوحل ۽ لِنٽ کان خالي ڪپڙو پڻ تيار ڪيو ويو.
جيسي سي ويفر1500 r/min تي 15 سيڪنڊن لاءِ بانڊنگ مٿاڇري تي چپپڻ سان اسپن-ڪوٽيڊ ڪيو ويو.
جي bonding مٿاڇري تي Adhesiveسي سي ويفرگرم پليٽ تي سڪي ويو.
گرافائٽ پيپر ۽سي سي ويفر(بانڊنگ مٿاڇري جو منهن هيٺ) هيٺان کان چوٽي تائين اسٽيڪ ڪيو ويو ۽ سيڊ ڪرسٽل گرم پريس فرنس ۾ رکيل هئا. گرم پريسنگ اڳوڻي گرم پريس جي عمل جي مطابق ڪيو ويو. شڪل 6 ڏيکاري ٿو ٻج جي ڪرسٽل مٿاڇري کي ترقي جي عمل کان پوءِ. اهو ڏسي سگھجي ٿو ته ٻج جي ڪرسٽل جي مٿاڇري تي ڊيليشن جي نشانين سان گڏ هموار آهي، اهو ظاهر ڪري ٿو ته هن مطالعي ۾ تيار ڪيل SiC سيڊ ڪرسٽل سٺي معيار ۽ گھڻ بانڊنگ پرت آهن.
نتيجو
سيڊ ڪرسٽل فيڪسيشن لاءِ موجوده بانڊنگ ۽ هينگنگ طريقن تي غور ڪندي، گڏيل بانڊنگ ۽ هينگنگ جو طريقو تجويز ڪيو ويو. اهو مطالعو ڪاربن فلم جي تياري تي ڌيان ڏنو ۽ويفر/ گرافائٽ پيپر بانڊنگ جي عمل کي ھن طريقي جي ضرورت آھي، ھيٺ ڏنل نتيجن جي ڪري:
ويفر تي ڪاربان فلم لاءِ گهربل چپپڻ جي viscosity 100 mPa·s هجڻ گهرجي، ڪاربنائيزيشن گرمي پد ≥600 ℃ سان. بهترين ڪاربنائيزيشن ماحول هڪ آرگن محفوظ ماحول آهي. جيڪڏهن ويڪيوم جي حالتن هيٺ ڪيو وڃي، ويڪيوم جو درجو ≤1 Pa هجڻ گهرجي.
ڪاربنائيزيشن ۽ بانڊنگ ٻنهي عملن لاءِ ڪاربنائيزيشن جي گهٽ درجه حرارت جي علاج جي ضرورت هوندي آهي ۽ ويفر جي مٿاڇري تي بانڊنگ چپڪندڙ گئسن کي چپڪندڙ مان خارج ڪرڻ لاءِ ، ڪاربنائيزيشن دوران بانڊنگ پرت ۾ ڇڪڻ ۽ بيڪار خرابين کي روڪڻ.
ويفر/گرافائيٽ پيپر لاءِ بانڊنگ چپڪندڙ کي 25 mPa·s جي ويسڪوسيٽي هجڻ گهرجي، بانڊنگ پريشر ≥15 kN سان. بانڊنگ جي عمل دوران، گرمي پد کي گھٽ درجه حرارت جي حد (<120 ℃) ۾ تقريبا 1.5 ڪلاڪن کان وڌيڪ تيز ٿيڻ گهرجي. سي سي کرسٽل جي ترقي جي تصديق تصديق ڪئي وئي آهي ته تيار ڪيل سي سي سيڊ ڪرسٽل اعلي معيار جي سي سي ڪرسٽل جي واڌ جي ضرورتن کي پورو ڪن ٿا، نرم ٻج جي ڪرسٽل سطحن سان ۽ بغير ڪنهن به تڪليف سان.
پوسٽ جو وقت: جون-11-2024