عام TaC coated graphite حصن جي تياري جو طريقو

حصو/1
CVD (ڪيميائي وانپ جمع) جو طريقو:
900-2300 ℃ تي، TaCl استعمال ڪندي₅۽ CnHm tantalum ۽ ڪاربان ذريعن جي طور تي، H₂ جيئن ماحول کي گهٽائڻ، Ar₂ ڪيريئر گيس، رد عمل جمع ڪرڻ واري فلم. تيار ڪيل ڪوٽنگ ٺهيل، يونيفارم ۽ اعلي پاڪائي آهي. بهرحال، ڪجھ مسئلا آھن جھڙوڪ پيچيده عمل، قيمتي قيمت، مشڪل ايئر فلو ڪنٽرول ۽ گھٽ ذخيرو ڪارڪردگي.
حصو/2
slurry sintering طريقو:
ڪاربن جو ماخذ، ٽينٽيلم ماخذ، ڊسپرسنٽ ۽ بائنڈر تي مشتمل slurry کي گريفائٽ تي لپايو ويندو آهي ۽ سڪي وڃڻ کان پوءِ اعليٰ درجه حرارت تي سينٽر ڪيو ويندو آهي. تيار ڪيل ڪوٽنگ باقاعده رخ جي بغير وڌندي آهي، گهٽ قيمت آهي ۽ وڏي پيماني تي پيداوار لاء مناسب آهي. وڏي گريفائٽ تي يونيفارم ۽ مڪمل ڪوٽنگ حاصل ڪرڻ، سپورٽ جي خرابين کي ختم ڪرڻ ۽ ڪوٽنگ بانڊنگ فورس کي وڌائڻ لاءِ اڃا به تحقيق ڪرڻي آهي.
حصو/3
پلازما اسپري ڪرڻ جو طريقو:
TaC پائوڊر پلازما آرڪ پاران تيز گرمي پد تي پگھلايو ويندو آهي، تيز رفتار جيٽ ذريعي تيز گرمي پد جي بوندن ۾ ايٽم ڪيو ويندو آهي، ۽ گرافائٽ مواد جي مٿاڇري تي اسپري ڪيو ويندو آهي. اهو غير ويڪيوم هيٺ آڪسائيڊ پرت ٺاهڻ آسان آهي، ۽ توانائي جو استعمال وڏو آهي.

 

شڪل. GaN epitaxial وڌيل MOCVD ڊوائيس (Veeco P75) ۾ استعمال کان پوءِ ويفر ٽري. هڪ کاٻي پاسي تي TaC سان ليپ ٿيل آهي ۽ هڪ ساڄي پاسي SiC سان گڏ ٿيل آهي.

ٽي سي سان ڍڪيلgraphite حصن کي حل ڪرڻ جي ضرورت آهي

حصو/1
پابند قوت:
TaC ۽ ڪاربان مواد جي وچ ۾ حرارتي توسيع جي کوٽائي ۽ ٻيون جسماني خاصيتون مختلف آهن، ڪوٽنگ جي بانڊنگ جي طاقت گهٽ آهي، ان ۾ درگاهن، سوراخن ۽ حرارتي دٻاءُ کان بچڻ ڏکيو آهي، ۽ ڪوٽنگ کي اصل ماحول ۾ صاف ڪرڻ آسان آهي جنهن ۾ روٽ ۽ شامل آهن. بار بار اڀرڻ ۽ ٿڌي عمل.
حصو/2
پاڪائي:
TaC ڪوٽنگاعليٰ درجه حرارت جي حالتن ۾ ناپاڪيءَ ۽ آلودگي کان بچڻ لاءِ الٽرا هاءِ purity جي ضرورت آهي، ۽ پوري ڪوٽنگ جي مٿاڇري تي ۽ اندران اندران آزاد ڪاربن ۽ اندروني نجاست جي اثرائتي مواد جي معيار ۽ خاصيت جي معيار تي اتفاق ٿيڻو پوندو.
حصو/3
استحڪام:
اعلي درجه حرارت جي مزاحمت ۽ ڪيميائي ماحول جي مزاحمت 2300 ℃ کان مٿي آهي، ڪوٽنگ جي استحڪام کي جانچڻ لاء سڀ کان اهم اشارا آهن. پن هول، درگاهون، گم ٿيل ڪنڊون، ۽ سنگل اورينٽيشن گرين بائونڊريون آسان آهن ڪنروسي گيسز کي گريفائيٽ ۾ داخل ڪرڻ ۽ ان ۾ داخل ٿيڻ جو، جنهن جي نتيجي ۾ ڪوٽنگ جي حفاظت ناڪام ٿئي ٿي.
حصو/4
آڪسائيڊ مزاحمت:
TaC Ta2O5 تي آڪسائيڊ ٿيڻ شروع ٿئي ٿو جڏهن اهو 500 ℃ کان مٿي آهي، ۽ آڪسائيڊ جي شرح تيزيء سان وڌي ٿي گرمي پد ۽ آڪسيجن ڪنسنٽريشن جي واڌ سان. مٿاڇري جو آڪسائيڊشن اناج جي حدن ۽ ننڍن داڻن کان شروع ٿئي ٿو، ۽ آهستي آهستي ڪالمنر ڪرسٽل ۽ ٽوٽل ڪرسٽل ٺاهي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ وڏي تعداد ۾ خال ۽ سوراخ پيدا ٿين ٿا، ۽ آڪسيجن جي انفلٽريشن تيز ٿي وڃي ٿي جيستائين ڪوٽنگ ختم نه ٿي وڃي. نتيجو آڪسائيڊ پرت غريب حرارتي چالکائي ۽ ظاهر ۾ رنگن جي هڪ قسم آهي.
حصو/5
هڪجهڙائي ۽ سختي:
ڪوٽنگ جي مٿاڇري جي اڻ برابري ورڇ مقامي حرارتي دٻاءُ جي ڪنسنٽريشن جو سبب بڻجي سگهي ٿي، جنهن جي ڪري ڀڃڻ ۽ ڦاٽڻ جو خطرو وڌي ٿو. ان کان علاوه، مٿاڇري جي خرابي سڌي طرح ڪوٽنگ ۽ خارجي ماحول جي وچ ۾ رابطي تي اثر انداز ٿئي ٿي، ۽ تمام گهڻي خرابي آساني سان ويفر ۽ غير برابر حرارتي فيلڊ سان رگڻ کي وڌائي ٿي.
حصو/6
اناج جي ماپ:
يونيفارم اناج جي ماپ کي ڪوٽنگ جي استحڪام ۾ مدد ڪري ٿي. جيڪڏهن اناج جي سائيز ننڍي آهي، بانڊ تنگ نه آهي، ۽ اهو آسان آڪسائيڊائز ۽ خراب ٿي ويندو آهي، جنهن جي نتيجي ۾ اناج جي ڪنڊ ۾ وڏي تعداد ۾ شگاف ۽ سوراخ پيدا ٿين ٿا، جيڪو ڪوٽنگ جي حفاظتي ڪارڪردگي کي گھٽائي ٿو. جيڪڏهن اناج جي سائيز تمام وڏي آهي، اهو نسبتا خراب آهي، ۽ ڪوٽنگ آسان آهي ته حرارتي دٻاء هيٺ ڦوڪيو وڃي.