پلازما ايچنگ سامان ۾، سيرامڪ اجزاء هڪ اهم ڪردار ادا ڪن ٿا، جن ۾ شامل آهنفوڪس انگ.جي فوڪس انگ، ويفر جي چوڌاري رکيل آهي ۽ ان سان سڌي رابطي ۾، انگ تي وولٽيج لاڳو ڪندي ويفر تي پلازما کي ڌيان ڏيڻ لاءِ ضروري آهي. هي ايچنگ جي عمل جي هڪجهڙائي کي وڌائي ٿو.
ايچنگ مشينن ۾ سي سي فوڪس رنگن جي ايپليڪيشن
سي سي سي وي ڊي اجزاءايچنگ مشينن ۾، جهڙوڪڌيان ڇڪڻ, گئس شاور هيڊس, platens, and edge rings are favoured because of SiC جي گھٽ رد عمل جي ڪري ڪلورين ۽ فلورين تي ٻڌل ايچنگ گيسز ۽ ان جي چالڪيت، ان کي پلازما ايچنگ جي سامان لاءِ مثالي مواد بڻائي ٿي.
فوڪس رنگ جي مواد جي طور تي سي سي جا فائدا
ويڪيوم رد عمل واري چيمبر ۾ پلازما جي سڌي نمائش جي ڪري، پلازما جي مزاحمتي مواد مان فوڪس رِنگ ٺاهڻ گهرجن. روايتي فوڪس رِنگز، جيڪي سلڪون يا ڪوارٽز مان ٺهيل آهن، فلورائن تي ٻڌل پلازما ۾ ايچنگ جي خراب مزاحمت جو شڪار ٿين ٿا، جنهن جي ڪري تيز سنکنرن ۽ ڪارڪردگيءَ ۾ گهٽتائي ٿئي ٿي.
سي ۽ سي وي ڊي سي سي فوڪس رنگن جي وچ ۾ مقابلو:
1. اعلي کثافت:ڇڪڻ جي مقدار کي گھٽائي ٿو.
2. وائڊ بينڊ گيپ: بهترين موصليت فراهم ڪري ٿي.
3. اعلي حرارتي چالکائي ۽ گھٽ توسيع جي کوٽائي: حرارتي جھٽڪو جي مزاحمتي.
4. هاء لچڪدار:مشيني اثر لاء سٺو مزاحمت.
5. هاء سختي: پائڻ ۽ corrosion-مزاحمتي.
SiC شيئر ڪري ٿو سلڪون جي برقي چالکائي جڏهن ته آئنڪ ايچنگ لاءِ اعليٰ مزاحمت پيش ڪري ٿي. جيئن انٽيگريٽيڊ سرڪٽ مينيچرائيزيشن ترقي ڪري ٿي، تيئن وڌيڪ ڪارائتي ايچنگ جي عملن جي گهرج وڌي ٿي. پلازما ايچنگ جو سامان، خاص طور تي جيڪي Capacitive ملندڙ پلازما (CCP) استعمال ڪن ٿا، اعلي پلازما توانائي جي ضرورت آهي، ٺاهڻسي سي فوڪس رِنگزوڌندڙ مقبول.
سي ۽ سي وي ڊي سي سي فوڪس رنگ پيٽرولر:
| پيرا ميٽر | سلڪون (سي) | سي وي ڊي سلکان ڪاربائيڊ (سي سي) |
| کثافت (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| بينڊ گيپ (eV) | 1.12 | 2.3 |
| حرارتي چالکائي (W/cm ° C) | 1.5 | 5 |
| حرارتي توسيع جي کوٽائي (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| لچڪدار ماڊيولس (GPa) | 150 | 440 |
| سختي | هيٺيون | مٿاهون |
سي سي فوڪس رنگن جي پيداوار جو عمل
سيمي ڪنڊڪٽر سامان ۾، سي وي ڊي (ڪيميائي وانپ جمع) عام طور تي سي سي اجزاء پيدا ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي. فوڪس رِنگز تيار ڪيا ويندا آهن سي سي کي مخصوص شڪلن ۾ وانپ جي جمع ڪرڻ جي ذريعي، بعد ۾ ميڪيڪل پروسيسنگ ذريعي حتمي پيداوار ٺاهڻ لاءِ. وانپ جي ذخيري لاءِ مواد جو تناسب وسيع تجربن کان پوءِ طئي ڪيو ويو آهي، پيرا ميٽرز جهڙوڪ resistivity مسلسل ٺاهيندي. جڏهن ته، مختلف ايچنگ سامان کي مختلف مزاحمتي قوتن سان فوڪس رِنگ جي ضرورت ٿي سگھي ٿي، هر وضاحت لاءِ مواد جي تناسب جي نئين تجربن جي ضرورت آهي، جيڪو وقت ساز ۽ قيمتي آهي.
چونڊڻ سانسي سي فوڪس رِنگزکانسيميسيرا سيميڪنڊڪٽر، گراهڪ قيمت ۾ وڏي واڌ کان سواءِ ڊگھي متبادل چڪر ۽ اعليٰ ڪارڪردگي جا فائدا حاصل ڪري سگھن ٿا.
تيز حرارتي پروسيسنگ (RTP) اجزاء
CVD SiC جي غير معمولي حرارتي ملڪيت ان کي RTP ايپليڪيشنن لاء مثالي بڻائي ٿي. آر ٽي پي جا جزا، جن ۾ ايج رِنگز ۽ پلاٽين شامل آهن، سي وي ڊي سي سي مان فائدو وٺن ٿا. RTP جي دوران، تيز گرمي جي دال کي انفرادي ويفرن تي مختصر مدت لاء لاڳو ڪيو ويندو آهي، جنهن جي پٺيان تيز ٿڌي. سي وي ڊي سي سي ايج رِنگز، پتلي هجڻ ۽ گهٽ حرارتي ماس هجڻ ڪري، خاص گرمي برقرار نه رکندا آهن، انهن کي تيز گرمي ۽ کولنگ جي عملن کان متاثر نه ٿيندو آهي.
پلازما ايچنگ اجزاء
CVD SiC جي اعلي ڪيميائي مزاحمت ان کي ايچنگ ايپليڪيشنن لاءِ موزون بڻائي ٿي. ايچنگ گيسز کي ورهائڻ لاءِ ڪيترائي ايچنگ چيمبر CVD SiC گيس ڊسٽريبيوشن پليٽ استعمال ڪن ٿا، جن ۾ پلازما ڊسپريشن لاءِ هزارين ننڍڙا سوراخ آهن. متبادل مواد جي مقابلي ۾، سي وي ڊي سي سي کي ڪلورين ۽ فلورائن گيسز سان گهٽ رد عمل آهي. خشڪ ايچنگ ۾، CVD SiC اجزاء جهڙوڪ فوڪس رِنگز، ICP پلاٽين، بائونڊري رِنگس، ۽ شاور هيڊس عام طور تي استعمال ٿيندا آهن.
سي سي فوڪس رينگز، انهن جي لاڳو ٿيل وولٽيج سان پلازما فوڪسنگ لاءِ، لازمي طور تي ڪافي چالکائي هجڻ گهرجي. عام طور تي سلڪون مان ٺهيل آهن، فوڪس رِنگز رد عمل واري گيسز جي سامهون اچن ٿيون جن ۾ فلورائن ۽ ڪلورين شامل آهن، جيڪي ناگزير سنکنرن جي ڪري ٿي. سي سي فوڪس رِنگز، انهن جي اعليٰ سنکنرن جي مزاحمت سان، سلڪون رِنگز جي مقابلي ۾ گهڻي عمر پيش ڪن ٿا.
زندگيءَ جو مقابلو:
· سي سي فوڪس رِنگس:هر 15 کان 20 ڏينهن ۾ تبديل ٿيل.
· سلکان فوڪس رِنگس:هر 10 کان 12 ڏينهن ۾ تبديل ڪيو ويو.
SiC رِنگس سلڪون رِنگز کان 2 کان 3 ڀيرا وڌيڪ مهانگو هجڻ جي باوجود، وڌايل متبادل چڪر مجموعي جزن جي متبادل خرچن کي گھٽائي ٿو، ڇاڪاڻ ته چيمبر ۾ سڀ لباس جا حصا هڪ ئي وقت تبديل ڪيا ويندا آهن جڏهن چيمبر کي فوڪس رِنگ جي متبادل لاءِ کوليو ويندو آهي.
Semicera Semiconductor جي SiC Focus Rings
Semicera Semiconductor پيش ڪري ٿو SiC فوڪس رِنگز قيمتن تي جيڪي سلڪون رِنگز جي ويجھو آهن، تقريبن 30 ڏينهن جي ليڊ ٽائيم سان. سيميسيرا جي سي سي فوڪس رينگز کي پلازما ايچنگ جي سامان ۾ ضم ڪرڻ سان، ڪارڪردگي ۽ ڊگھي عمر کي خاص طور تي بهتر بڻايو ويو آهي، مجموعي سار سنڀال جي خرچن کي گهٽائڻ ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي کي وڌائڻ. اضافي طور تي، سيميسيرا خاص گراهڪ جي گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ فوڪس رينگز جي مزاحمت کي ترتيب ڏئي سگھي ٿو.
Semicera Semiconductor مان SiC فوڪس رينگز کي چونڊڻ سان، گراهڪ قيمت ۾ وڏي واڌ کان سواءِ ڊگھي متبادل چڪرن ۽ اعليٰ ڪارڪردگي جا فائدا حاصل ڪري سگھن ٿا.
پوسٽ جو وقت: جولاءِ 10-2024