سلڪون ويفر سيميڪنڊڪٽر جي پيداوار جو تفصيلي عمل

پهرين، واحد ڪرسٽل فرنس ۾ ڪوارٽز ڪرسيبل ۾ پولي ڪرسٽل لائن سلڪون ۽ ڊاپينٽ وجھو، گرمي پد کي 1000 درجا کان وڌيڪ وڌايو، ۽ پولي ڪرسٽل لائن سلکان حاصل ڪريو پگھلي حالت ۾.

Silicon ingot جي واڌ پولي ڪرسٽل لائن سلکان کي سنگل ڪرسٽل سلکان ۾ ٺاهڻ جو عمل آهي. پولي ڪرسٽل لائن سلڪون کي مائع ۾ گرم ڪرڻ کان پوء، حرارتي ماحول کي اعلي معيار جي واحد ڪرسٽل ۾ وڌڻ لاء صحيح طور تي ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي.

لاڳاپيل مفهوم:
سنگل ڪرسٽل واڌ:پولي ڪرسٽل سلڪون محلول جو گرمي پد مستحڪم ٿيڻ کان پوءِ، ٻج جو ڪرسٽل آهستي آهستي سلڪون ميٽ ۾ هيٺ ڪيو ويندو آهي (سيڊ ڪرسٽل به سلڪون ميٽ ۾ ڳري ويندو آهي)، ۽ پوءِ ٻج جي ڪرسٽل کي هڪ خاص رفتار سان مٿي ڪيو ويندو آهي. عمل. ان کان پوء، ٻج جي عمل دوران پيدا ٿيندڙ خرابيون گردن جي آپريشن ذريعي ختم ٿي وينديون آهن. جڏھن ڳچيءَ کي ڪافي ڊگھي تائين سُڪيو وڃي ٿو، سنگل ڪرسٽل سلڪون جو قطر ھدف جي قيمت تائين وڌايو ويندو آھي ڇڪڻ جي رفتار ۽ درجه حرارت کي ترتيب ڏيڻ سان، ۽ پوءِ برابر قطر کي ھدف جي ڊگھائي تائين وڌائڻ لاءِ برقرار رکيو ويندو آھي. آخر ۾، پسماندگيءَ کي وڌائڻ کان روڪڻ لاءِ، سنگل ڪرسٽل انگوٽ کي حاصل ڪرڻ لاءِ مڪمل ڪيو ويندو آهي، ۽ پوءِ ان کي گرميءَ جي ٿڌي ٿيڻ کان پوءِ ڪڍيو ويندو آهي.

سنگل کرسٽل سلکان تيار ڪرڻ جا طريقا:CZ طريقو ۽ FZ طريقو. CZ طريقو مختصر طور تي CZ طريقو آهي. CZ طريقي جي خاصيت اها آهي ته اهو هڪ سڌي سلنڊر حرارتي نظام ۾ خلاصو ڪيو ويو آهي، گريفائٽ مزاحمتي حرارتي استعمال ڪندي پولي ڪرسٽل لائن سلڪون کي پگھلڻ لاءِ هڪ اعليٰ پاڪائي واري ڪوارٽز ڪرسيبل ۾، ۽ پوءِ ٻج جي ڪرسٽل کي ويلڊنگ لاءِ پگھلڻ واري مٿاڇري ۾ داخل ڪيو ويندو آهي. ٻج جي ڪرسٽل کي گھمائڻ، ۽ پوءِ ڪرسيبل کي ڦيرائڻ. ٻج جي ڪرسٽل کي آھستي آھستي مٿي ڪيو ويندو آھي، ۽ ٻج پوکڻ، وڌائڻ، ڪلھن جي گھمڻ، برابر قطر جي واڌ ويجھه، ۽ پوکڻ جي عملن کان پوءِ، ھڪ واحد کرسٽل سلکان حاصل ڪيو ويندو آھي.

زون پگھلڻ جو طريقو مختلف علائقن ۾ سيمي ڪنڊڪٽر ڪرسٽل کي پگھلڻ ۽ ڪرسٽل ڪرڻ لاءِ پولي ڪرسٽل لائن انگوٽ استعمال ڪرڻ جو طريقو آھي. حرارتي توانائي استعمال ڪئي ويندي آهي پگھلڻ واري علائقي کي پيدا ڪرڻ لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر راڊ جي هڪ ڇيڙي تي، ۽ پوءِ هڪ واحد کرسٽل سيڊ ڪرسٽل کي ويلڊ ڪيو ويندو آهي. پگھلڻ واري علائقي کي آھستي آھستي راڊ جي ٻئي ڇيڙي تي ھلائڻ لاءِ گرمي پد کي ترتيب ڏنو ويندو آھي، ۽ سڄي راڊ ذريعي، ھڪڙو ڪرسٽل وڌو ويندو آھي، ۽ ڪرسٽل جو رخ سيڊ ڪرسٽل جي برابر ھوندو آھي. زون پگھلڻ جو طريقو ٻن قسمن ۾ ورهايل آھي: افقي زون پگھلڻ جو طريقو ۽ عمودي معطلي زون پگھلڻ جو طريقو. اڳوڻو بنيادي طور تي استعمال ڪيو ويندو آهي صاف ڪرڻ ۽ سنگل ڪرسٽل جي واڌ لاءِ مواد جهڙوڪ جرميميم ۽ گيا. بعد ۾ هڪ ماحول يا ويڪيوم فرنس ۾ هڪ اعلي فريڪوئنسي ڪوئل استعمال ڪرڻ لاءِ آهي هڪ پگھليل زون پيدا ڪرڻ لاءِ جيڪو سنگل ڪرسٽل سيڊ ڪرسٽل ۽ ان جي مٿان معطل ٿيل پولي ڪرسٽل سلڪون راڊ جي وچ ۾ رابطي ۾ آهي ۽ پوءِ پگھليل زون کي اڳتي وڌڻ لاءِ. کرسٽل

اٽڪل 85٪ سلڪون ويفرز Czochralski طريقي سان پيدا ڪيا ويا آهن، ۽ 15٪ سلکان ويفرز زون پگھلڻ واري طريقي سان پيدا ڪيا ويا آهن. ايپليڪيشن جي مطابق، Czochralski طريقي سان اڀرندڙ سنگل کرسٽل سلڪون بنيادي طور تي انٽيگريٽيڊ سرڪٽ اجزاء پيدا ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندو آهي، جڏهن ته زون پگھلڻ واري طريقي سان اڀريل سنگل کرسٽل سلڪون خاص طور تي پاور سيمي ڪنڊڪٽرز لاءِ استعمال ٿيندو آهي. Czochralski طريقو هڪ پختو عمل آهي ۽ وڏي قطر واحد ڪرسٽل سلڪون وڌائڻ آسان آهي. زون پگھلڻ جو طريقو ميٽل ڪنٽينر سان رابطو نٿو ڪري، آلوده ٿيڻ آسان ناهي، اعلي پاڪائي آهي، ۽ اعلي طاقت واري اليڪٽرانڪ ڊوائيسز جي پيداوار لاء موزون آهي، پر اهو وڏو قطر اڪيلو ڪرسٽل سلکان وڌائڻ لاء وڌيڪ ڏکيو آهي، ۽ عام طور تي صرف 8 انچ يا گھٽ قطر ۾ استعمال ٿيندو آهي. وڊيو ڏيکاري ٿو Czochralski طريقو.

سنگل ڪرسٽل کي ڪڍڻ جي عمل ۾ سنگل ڪرسٽل سلکان راڊ جي قطر کي ڪنٽرول ڪرڻ ۾ مشڪل جي ڪري، معياري قطر جي سلکان راڊ حاصل ڪرڻ لاءِ، جهڙوڪ 6 انچ، 8 انچ، 12 انچ وغيره. کرسٽل، سلڪون انگوٽ جو قطر ڦريو ويندو ۽ گرائونڊ ڪيو ويندو. رولنگ کان پوء سلڪون راڊ جو مٿاڇرو هموار آهي ۽ سائيز جي غلطي ننڍي آهي.

جديد تار ڪٽڻ واري ٽيڪنالاجي کي استعمال ڪندي، سنگل ڪرسٽل انگوٽ کي سلائينگ سامان ذريعي مناسب ٿلهي جي سلکان ويفرز ۾ ڪٽيو ويندو آهي.

سلڪون ويفر جي ننڍڙي ٿلهي جي ڪري، سلڪون ويفر جي ڪنارن کي ڪٽڻ کان پوء تمام تيز آهي. کنڊ پيسڻ جو مقصد هڪ هموار کنڊ ٺاهڻ آهي ۽ مستقبل جي چپ جي پيداوار ۾ ٽوڙڻ آسان ناهي.

LAPPING ھي آھي ويفر کي بھاري سليڪشن پليٽ ۽ لوئر ڪرسٽل پليٽ جي وچ ۾ شامل ڪرڻ، ۽ دٻاءُ لاڳو ڪرڻ ۽ گھمڻ واري سان گھمائڻ لاءِ ويفر کي فليٽ بڻائڻ آھي.

ايچنگ هڪ عمل آهي جيڪو ويفر جي مٿاڇري جي نقصان کي ختم ڪرڻ لاء، ۽ فزيڪل پروسيسنگ ذريعي خراب ٿيل سطح جي پرت کي ڪيميائي حل ذريعي ڦهلائي ڇڏيو آهي.

ٻه طرفي پيسڻ هڪ عمل آهي جيڪو ويفر کي فليٽ ڪرڻ ۽ مٿاڇري تي ننڍڙن پراڻن کي هٽائڻ لاءِ آهي.

آر ٽي پي ويفر کي چند سيڪنڊن ۾ تيزيءَ سان گرم ڪرڻ جو عمل آهي، جنهن جي ڪري ويفر جا اندروني نقص هڪجهڙا ٿين ٿا، ڌاتوءَ جي نجاست کي دٻايو وڃي ٿو، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي غير معمولي آپريشن کي روڪيو وڃي ٿو.

پالش ڪرڻ ھڪڙو عمل آھي جيڪو مٿاڇري جي نرمي کي يقيني بڻائي ٿو مٿاڇري واري مشين ذريعي. پالش ڪرڻ واري slurry ۽ پالش ڪرڻ واري ڪپڙي جو استعمال، مناسب گرمي پد، دٻاءُ ۽ گردش جي رفتار سان گڏ، پوئين عمل کان بچيل ميڪانياتي نقصان واري پرت کي ختم ڪري سگهي ٿو ۽ مٿاڇري کي شاندار نموني سان سلکان ويفرز حاصل ڪري سگھي ٿو.

صفائي جو مقصد سلکان ويفر جي مٿاڇري تي رهجي ويل نامياتي مادو، ذرات، ڌاتو وغيره کي پالش ڪرڻ کان پوءِ هٽائڻ آهي، ته جيئن سلکان ويفر جي مٿاڇري جي صفائي کي يقيني بڻائي سگهجي ۽ ايندڙ عمل جي معيار جي ضرورتن کي پورو ڪري سگهجي.

فليٽ ۽ مزاحمتي ٽيسٽ ڪندڙ سلکان ويفر کي پالش ڪرڻ ۽ صاف ڪرڻ کان پوءِ معلوم ڪري ٿو ته جيئن پالش ٿيل سلڪون ويفر جي ٿلهي، فليٽ، لوڪل فليٽ، وکر، وار پيج، مزاحمتي، وغيره ڪسٽمر جي ضرورتن کي پورا ڪن.

PARTICLE ڳڻپ ويفر جي مٿاڇري کي صحيح طور تي معائنو ڪرڻ لاء هڪ عمل آهي، ۽ مٿاڇري جي خرابين ۽ مقدار کي ليزر اسڪيٽرنگ ذريعي طئي ڪيو ويندو آهي.

EPI GROWING وانپ فيز ڪيميائي ذخيرو ذريعي پالش ٿيل سلکان ويفرز تي اعليٰ معيار جي سلکان سنگل کرسٽل فلمن کي وڌائڻ جو هڪ عمل آهي.

لاڳاپيل مفهوم:Epitaxial Growth: هڪ واحد ڪرسٽل پرت جي ترقي ڏانهن اشارو ڪري ٿو خاص ضرورتن سان ۽ ساڳئي ڪرسٽل جي رخ کي هڪ واحد ڪرسٽل سبسٽريٽ (سبسٽريٽ) تي سبسٽرٽ وانگر، جيئن اصل ڪرسٽل هڪ حصي لاءِ ٻاهران وڌندو آهي. Epitaxial ترقي ٽيڪنالاجي 1950s جي آخر ۾ ۽ 1960s جي شروعات ۾ ترقي ڪئي وئي. ان زماني ۾، تيز فريڪوئنسي ۽ اعلي طاقت واري ڊوائيسز ٺاهڻ لاء، ڪليڪٽر سيريز جي مزاحمت کي گھٽائڻ ضروري هو، ۽ مواد کي تيز وولٽيج ۽ تيز ڪرنٽ کي منهن ڏيڻ جي ضرورت هئي، تنهنڪري اهو ضروري هو ته هڪ پتلي تيز- مزاحمت epitaxial پرت هڪ گهٽ-مزاحمت substrate تي. نئين سنگل ڪرسٽل پرت جيڪا epitaxily وڌي وئي آهي اها ذيلي ذخيري کان مختلف ٿي سگهي ٿي چالاڪيءَ جي قسم، مزاحمت وغيره جي لحاظ کان، ۽ ملٽي ليئر سنگل ڪرسٽل مختلف ٿلهي ۽ گهرج جي لحاظ کان به وڌي سگھجن ٿيون، جنهن سان ڊوائيس جي ڊيزائن جي لچڪ کي تمام گهڻو بهتر بڻائي سگهجي ٿو. ڊوائيس جي ڪارڪردگي.

پيڪنگنگ حتمي قابل مصنوعات جي پيڪنگنگ آهي.