سنگل ڪرسٽل جي شعاع مزاحمت جي هڪجهڙائي کي متاثر ڪرڻ جا بنيادي سبب سالڊ-مائع انٽرفيس جي برابري ۽ ڪرسٽل جي واڌ دوران ننڍي جهاز جو اثر آهن.
کرسٽل جي واڌ ويجهه دوران، جيڪڏهن پگھل برابر طور تي هلايو ويندو آهي، برابر مزاحمتي سطح سالڊ-مائع انٽرفيس آهي (پگھلڻ ۾ ناپاڪي جو تسلسل ڪرسٽل ۾ ناپاڪي جي ڪنسنٽريشن کان مختلف آهي، تنهنڪري مزاحمت مختلف آهي، ۽ مزاحمت صرف مضبوط-مائع انٽرفيس تي برابر آهي). جڏهن نجاست K<1، انٽرفيس ڪنويڪس کي پگھلڻ جو سبب بڻجندو ته ريڊيل رزسٽيٽيٽي کي وچ ۾ وڌيڪ ۽ ڪنارن تي گهٽ هوندو، جڏهن ته انٽرفيس ڪنڪيو ته پگھلڻ جي سامهون هوندو آهي. فليٽ سولڊ مائع انٽرفيس جي ريڊيل مزاحمتي يونيفارم بهتر آهي. کرسٽل ڇڪڻ دوران سڪل-مائع انٽرفيس جي شڪل فڪٽرن پاران طئي ڪئي ويندي آهي جيئن ته حرارتي فيلڊ جي تقسيم ۽ ڪرسٽل جي ترقي جي آپريٽنگ پيٽرولز. سڌي-کڙيل واحد ڪرسٽل ۾، سڪل-مائع مٿاڇري جي شڪل عنصرن جي گڏيل اثر جو نتيجو آهي جهڙوڪ فرنس جي درجه حرارت جي ورڇ ۽ ڪرسٽل جي گرمي جو خاتمو.
جڏهن ڪرسٽل کي ڇڪيندا آهن، اتي چار مکيه قسم جا گرمي مٽاسٽا جي سڪل-مائع انٽرفيس تي آهن:
پگھليل سلڪون سولائيزيشن پاران جاري ڪيل مرحلي جي تبديلي جي لڪيٽ گرمي
پگھلڻ جي گرمي جي وهڪري
ڪرسٽل جي ذريعي گرميءَ جي وهڪري مٿي ڏانهن
تابڪاري گرمي ٻاهران ڪريسٽل ذريعي
پوشيده گرمي پوري انٽرفيس لاءِ يونيفارم آهي، ۽ ان جي سائيز تبديل نه ٿيندي آهي جڏهن ترقي جي شرح مسلسل آهي. (تيز گرمي جي وهڪري، تيز ٿڌي، ۽ وڌايل استحڪام جي شرح)
جڏهن اڀرندڙ ڪرسٽل جو سر سنگل کرسٽل فرنس جي واٽر-ڪولڊ سيڊ ڪرسٽل راڊ جي ويجهو هوندو آهي، تڏهن ڪرسٽل ۾ درجه حرارت جو درجو وڏو هوندو آهي، جيڪو ڪرسٽل جي ڊگهي گرمي جي وهڪري کي مٿاڇري جي تابڪاري جي گرمي کان وڌيڪ بڻائيندو آهي. سڪل-مائع انٽرفيس پگھلڻ لاء محدب.
جڏهن ڪرسٽل وچ ۾ وڌندو آهي، ڊگهو گرمي جي وهڪري سطح جي تابڪاري جي گرمي جي برابر آهي، تنهنڪري انٽرفيس سڌو آهي.
ڪرسٽل جي دم تي، ڊگهو گرمي جي وهڪري مٿاڇري جي تابڪاري جي گرمي کان گهٽ هوندي آهي، جيڪو ڳرڻ لاءِ ٺوس-مائع انٽرفيس کي مقدر بڻائيندو آهي.
يونيفارم شعاع مزاحمت سان هڪ واحد ڪرسٽل حاصل ڪرڻ لاءِ، سڪل-مائع انٽرفيس کي برابر ڪيو وڃي.
طريقا استعمال ڪيا ويا آهن: ① حرارتي فيلڊ جي ريڊيل درجه حرارت جي درجه بندي کي گهٽائڻ لاءِ ڪرسٽل جي واڌ واري حرارتي نظام کي ترتيب ڏيو.
② ڪرسٽل ڇڪڻ واري آپريشن جي ماپ کي ترتيب ڏيو. مثال طور، پگھلڻ لاءِ انٽرفيس ڪنوڪس لاءِ، ڇڪڻ جي رفتار کي وڌائڻ لاءِ ڪرسٽل سولائيزيشن جي شرح کي وڌائڻ لاءِ. هن وقت، انٽرفيس تي جاري ڪيل ڪرسٽل جي لڪيٽ گرمي ۾ واڌ جي ڪري، انٽرفيس جي ويجهو پگھلڻ جو گرمي پد وڌي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ انٽرفيس تي ڪرسٽل جو هڪ حصو پگھلجي ٿو، انٽرفيس کي فليٽ بڻائي ٿو. ان جي برعڪس، جيڪڏهن ترقي جو انٽرفيس ڳرڻ جي طرف مبهم آهي، ته واڌ جي شرح گهٽجي سگهي ٿي، ۽ ڳرڻ هڪ لاڳاپيل حجم کي مضبوط ڪندو، ترقي جي انٽرفيس کي فليٽ بڻائيندو.
③ ڪرسٽل يا ڪرسيبل جي گردش جي رفتار کي ترتيب ڏيو. ڪرسٽل گھمڻ جي رفتار کي وڌائڻ سان تيز گرمي پد جي مائع جي وهڪري کي وڌندو جيڪو سولڊ-مائع انٽرفيس تي ھيٺ کان مٿي ڏانھن منتقل ٿيندو، انٽرفيس کي محدب کان مقعر ۾ تبديل ڪندي. ڪرسيبل جي گردش جي ڪري مائع جي وهڪري جو رخ قدرتي ڪنوڪشن جي برابر آهي، ۽ اثر مڪمل طور تي ڪرسٽل گردش جي سامهون آهي.
④ ڪرسيبل جي اندرئين قطر جي نسبت کي ڪرسٽل جي قطر تائين وڌائڻ سان ٺوس-مائع انٽرفيس کي برابر ڪري ڇڏيندو، ۽ اهو پڻ گھٽائي سگھي ٿو ڊسڪشن جي کثافت ۽ ڪرسٽل ۾ آڪسيجن مواد. عام طور تي، ڪرسيبل قطر: ڪرسٽل قطر = 3 ~ 2.5: 1.
ننڍي جهاز جي اثر جو اثر
ڪرسٽل جي واڌ جو سڪل-مائع انٽرفيس اڪثر ڪري ڪرسيبل ۾ پگھلندڙ آئسوٿرم جي حد جي ڪري وکر هوندو آهي. جيڪڏهن ڪرسٽل کي ڪرسٽل جي واڌ جي دوران تيزيءَ سان ڪڍيو وڃي ٿو، هڪ ننڍڙو فليٽ جهاز (111) جرميميم ۽ سلڪون سنگل ڪرسٽل جي سالڊ-مائع انٽرفيس تي ظاهر ٿيندو. اهو (111) ايٽمي ويجهو ڀريل جهاز آهي، جنهن کي عام طور تي ننڍو جهاز سڏيو ويندو آهي.
ننڍي جهاز واري علائقي ۾ ناپاڪيءَ جو ڪنسنٽريشن غير ننڍي جهاز واري علائقي ۾ ان کان بلڪل مختلف آهي. ننڍي جهاز واري علائقي ۾ نجاست جي غير معمولي ورڇ جي هن رجحان کي ننڍي جهاز جو اثر سڏيو ويندو آهي.
ننڍي جهاز جي اثر جي ڪري، ننڍي جهاز واري علائقي جي مزاحمتي صلاحيت گهٽجي ويندي، ۽ سخت حالتن ۾، ناپاڪ پائپ ڪور ظاهر ٿيندا. ننڍي جهاز جي اثر جي ڪري پيدا ٿيندڙ شعاع جي مزاحمت کي ختم ڪرڻ لاءِ، سالڊ-مائع انٽرفيس کي برابر ڪرڻ جي ضرورت آهي.
ڀلي ڪري آيا ڪنهن به گراهڪ کان سڄي دنيا مان هڪ وڌيڪ بحث لاء اسان جو دورو ڪرڻ لاء!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
پوسٽ جو وقت: جولاء-24-2024