SEMICERA isostatic PECVD graphite boat is a high-purity, high-density graphite product is designed for wafer support in PECVD (پلازما وڌايل ڪيميائي وانپ جمع) عمل. SEMICERA جديد اسوسٽٽڪ پريسنگ ٽيڪنالاجي استعمال ڪري ٿو انهي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته گريفائٽ ٻيڙي ۾ بهترين تيز گرمي پد جي مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، طول و عرض جي استحڪام ۽ سٺي حرارتي چالکائي آهي، جيڪا سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾ هڪ لازمي قابل استعمال آهي.
SEMICERA isostatic PECVD graphite بوٽ ھيٺ ڏنل فائدا آھن:
▪ اعلي پاڪائي: گريفائٽ مواد اعلي پاڪائي ۽ گھٽ نجاست واري مواد جو آهي ته جيئن ويفر جي سطح جي آلودگي کان بچڻ لاء.
▪ اعلي کثافت: اعلي کثافت، اعلي مشيني طاقت، اعلي درجه حرارت ۽ اعلي ويڪيوم ماحول کي برداشت ڪري سگهي ٿو.
▪ سٺو طول و عرض: تيز گرمي پد تي ننڍي طول و عرض تبديلي عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ لاء.
▪ بهترين حرارتي چالکائي: موثر طريقي سان گرميءَ کي منتقل ڪرڻ لاءِ ويفر کي وڌيڪ گرم ٿيڻ کان روڪڻ لاءِ.
▪ مضبوط corrosion resistance: مختلف corrosive gass and Plasma پاران erosion جي مزاحمت ڪرڻ جي قابل.
| ڪارڪردگي جي ماپ | سيميسيرا | SGL R6510 | ڪارڪردگي جي ماپ |
| وڏي کثافت (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| موڙيندڙ طاقت (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Compressive طاقت (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| ساحل جي سختي (HS) | 70 | 64 | 60 |
| حرارتي توسيع جي کوٽائي (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
| حرارتي توسيع جي کوٽائي (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| مزاحمتي قوت (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
اسان کي چونڊڻ جا فائدا:
▪ مواد جي چونڊ: پراڊڪٽ جي معيار کي يقيني بڻائڻ لاءِ اعليٰ خالص گريفائٽ مواد استعمال ڪيو ويندو آهي.
▪ پروسيسنگ ٽيڪنالاجي: Isostatic پريسنگ استعمال ڪيو ويندو آهي مصنوعات جي کثافت ۽ هڪجهڙائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ.
▪ سائيز حسب ضرورت: مختلف سائزن ۽ شڪلين جا گريفائيٽ ٻيڙيون ڪسٽمر جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏئي سگھجن ٿيون.
▪ مٿاڇري جو علاج: مٿاڇري جي علاج جا مختلف طريقا مهيا ڪيا ويا آهن، جهڙوڪ ڪوٽنگ سلکان ڪاربائڊ، بوران نائٽرائڊ، وغيره، پروسيس جي مختلف ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ.
