سولڊ CVD SILICON CARBIDE حصا RTP/EPI رِنگز ۽ بيسز ۽ پلازم ايچ ڪيٽي حصن لاءِ بنيادي انتخاب طور سڃاتل آھن جيڪي اعليٰ سسٽم گھربل آپريٽنگ گرمي پد (> 1500 ℃) تي ھلندا آھن، پاڪائيءَ جون ضرورتون خاص طور تي آھن (>99.9995%) ۽ ڪارڪردگي خاص طور تي سٺي آهي جڏهن ڪيميائي مزاحمت خاص طور تي اعلي آهي. اهي مواد اناج جي ڪنڊ تي ثانوي مرحلن تي مشتمل نه آهن، تنهنڪري انهن جا حصا ٻين مواد جي ڀيٽ ۾ گهٽ ذرات پيدا ڪن ٿا. ان کان علاوه، اهي حصا گرم HF/HCl استعمال ڪندي صاف ڪري سگھجن ٿا، ٿوري خرابي سان، نتيجي ۾ گهٽ ذرات ۽ گهڻي خدمت زندگي.
