Silicon Carbide ڪوٽنگ جو تعارف
اسان جي ڪيميائي وانپ جمع (CVD) Silicon Carbide (SiC) ڪوٽنگ هڪ انتهائي پائيدار ۽ لباس جي مزاحمتي پرت آهي، ماحول جي لاءِ مثالي آهي اعلي سنکنرن ۽ حرارتي مزاحمت جو مطالبو.Silicon Carbide ڪوٽنگCVD پروسيس ذريعي مختلف ذيلي ذخيرو تي پتلي تہن ۾ لاڳو ڪيو ويو آهي، اعلي ڪارڪردگي خاصيتون پيش ڪندي.
اهم خاصيتون
● -غير معمولي پاڪائي: هڪ الٽرا-خالص جوڙ جو شڪار99.99995%، اسان جيسي سي ڪوٽنگحساس سيمڪوڊڪٽر آپريشنز ۾ آلودگي جي خطرن کي گھٽائي ٿو.
● -سپريئر مزاحمت: ٻنهي جي لباس ۽ سنکنرن کي شاندار مزاحمت ڏيکاري ٿي، ان کي مشڪل ڪيميائي ۽ پلازما سيٽنگن لاءِ ڀرپور بڻائي ٿي.
● -High حرارتي چالکائي: ان جي شاندار حرارتي خاصيتن جي ڪري انتهائي درجه حرارت هيٺ قابل اعتماد ڪارڪردگي کي يقيني بڻائي ٿي.
● -Dimensional استحڪام: درجه حرارت جي وسيع رينج ۾ ساخت جي سالميت برقرار رکي ٿي، ان جي گھٽ حرارتي توسيع جي کوٽائي جي مهرباني.
● -Enhanced سختي: جي سختي جي درجه بندي سان40 جي پي اي، اسان جي سي سي ڪوٽنگ اهم اثر ۽ ڇڪڻ کي برداشت ڪري ٿي.
● -Smooth سطح ختم: هڪ آئيني وانگر ختم مهيا ڪري، ذرات جي پيداوار کي گهٽائڻ ۽ آپريشنل ڪارڪردگي کي وڌائڻ.
درخواستون
سيمسٽر سي سي ڪوٽنگسيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي مختلف مرحلن ۾ استعمال ڪيا ويا آهن، جن ۾ شامل آهن:
● -LED چپ ٺاھڻ
● -Polysilicon پيداوار
● -سيمي ڪنڊڪٽر کرسٽل جي واڌ
● -Silicon ۽ SiC Epitaxy
● -حرارتي آڪسائيڊشن ۽ ڊفيوشن (TO&D)
اسان فراهم ڪريون ٿا SiC-coated جزا جيڪي اعليٰ طاقت واري isostatic graphite مان تيار ڪيا ويا آهن، ڪاربن فائبر-مضبوط ڪاربان ۽ 4N ٻيهر ٺاهيل سلڪون ڪاربائڊ، جيڪي فلوائيڊ ٿيل بيڊ ري ايڪٽرن لاءِ تيار ڪيا ويا آهن،STC-TCS ڪنورٽرز، CZ يونٽ ريفلڪٽرز، سي سي ويفر بوٽ، سي سي ويفر پيڊل، سي سي ويفر ٽيوب، ۽ ويفر ڪيريئرز جيڪي پي اي سي وي ڊي، سلڪون ايپيٽيڪسي، MOCVD پروسيس ۾ استعمال ڪيا ويا آهن..
فائدا
● - توسيع ٿيل عمر: خاص طور تي سامان جي گھٽتائي ۽ سار سنڀال جي خرچن کي گھٽائي ٿو، مجموعي پيداوار جي ڪارڪردگي کي وڌائڻ.
● -بهتر معيار: حاصل ڪري ٿو اعلي صفائي سطحون جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ لاءِ ضروري آهن، اهڙيءَ طرح پيداوار جي معيار کي وڌائڻ.
● - وڌايل ڪارڪردگي: حرارتي ۽ سي وي ڊي جي عمل کي بهتر بڻائي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ ننڍو چڪر وقت ۽ اعلي پيداوار.
ٽيڪنيڪل وضاحتون
●-ساخت: FCC β مرحلو polycrystaline، خاص طور تي (111) مبني
● -کثافت: 3.21 g/cm³
● -سختي: 2500 ويڪس سختي (500 گرام لوڊ)
● -فريڪچر سختي: 3.0 ايم پي ايم1/2
● -حرارتي توسيع جي کوٽائي (100-600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● -لچڪدار ماڊيولس (1300 ℃):435 جي پي اي
● -Typical فلم ٿلهي:100 µm
● -مٿاڇري roughness:2-10 µm
پاڪائي واري ڊيٽا (گلو ڊسچارج ماس اسپيڪٽروڪوپي ذريعي ماپيل)
| عنصر | پي پي ايم | عنصر | پي پي ايم |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| ال | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
