ايٽمي پرت جمع (ALD) هڪ ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي آهي جيڪا ٿلهي فلمن جي پرت کي پرت ذريعي وڌائي ٿي متبادل طور تي ٻن يا وڌيڪ اڳوڻن ماليڪيولن کي انجیکشن ڪندي. ALD اعلي ڪنٽرول ۽ يونيفارميت جا فائدا آهن، ۽ وڏي پيماني تي سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز، optoelectronic ڊوائيسز، توانائي اسٽوريج ڊوائيسز ۽ ٻين شعبن ۾ استعمال ڪري سگھجن ٿيون. ALD جي بنيادي اصولن ۾ شامل آهن اڳوڻو جذب، سطح جي رد عمل ۽ ضمني پراڊڪٽ کي هٽائڻ، ۽ هڪ چڪر ۾ انهن مرحلن کي ورجائڻ سان ملٽي پرت مواد ٺاهي سگهجي ٿو. ALD خاصيتون ۽ فائدن جي اعلي ڪنٽرول، يونيفارم، ۽ غير porous جوڙجڪ، ۽ substrate مواد ۽ مختلف مواد جي هڪ قسم جي جمع ڪرڻ لاء استعمال ڪري سگهجي ٿو.
ALD ھيٺ ڏنل خاصيتون ۽ فائدا آھن:
1. هاء controllability:جيئن ته ALD هڪ پرت جي پرت جي ترقي جو عمل آهي، مواد جي هر پرت جي ٿلهي ۽ ساخت کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو.
2. هڪجهڙائي:ALD مواد کي هڪجهڙائي سان پوري ذيلي سطح جي مٿاڇري تي جمع ڪري سگهي ٿو، اڻ برابري کان پاسو ڪري سگھي ٿو جيڪا ٻين ذخيرو ٽيڪنالاجيز ۾ ٿي سگهي ٿي.
3. غير پورس ساخت:جيئن ته ALD واحد ائٽم يا واحد ماليڪيولز جي يونٽن ۾ جمع ٿيل آهي، نتيجي ۾ پيدا ٿيندڙ فلم عام طور تي ٿلهي، غير سوراخ واري ساخت آهي.
4. سٺي ڪوريج ڪارڪردگي:ALD مؤثر طريقي سان اعلي اسپيڪٽ تناسب جي جوڙجڪ کي ڍڪي سگھي ٿو، جهڙوڪ نانوپور صفن، اعلي پورسيٽي مواد، وغيره.
5. اسڪيليبلٽي:ALD مختلف قسم جي ذيلي ذخيري مواد لاء استعمال ڪري سگهجي ٿو، جنهن ۾ ڌاتو، سيمي ڪنڊڪٽر، گلاس وغيره شامل آهن.
6. ورهاڱي:مختلف اڳوڻن ماليڪيولن کي چونڊڻ سان، ALD عمل ۾ مختلف مواد جمع ڪري سگھجن ٿا، جهڙوڪ ڌاتو آڪسائيڊس، سلفائيڊس، نائٽرائڊس وغيره.
