سيمسٽرمتعارف ڪرايو850V هاء پاور GaN-on-Si Epi Wafer، سيمي ڪنڊڪٽر جدت ۾ هڪ پيش رفت. هي ترقي يافته ايپي ويفر گيليم نائٽرائڊ (GaN) جي اعليٰ ڪارڪردگيءَ کي سلکان (Si) جي قيمت-اثريت سان گڏ ڪري ٿو، اعليٰ وولٽيج ايپليڪيشنن لاءِ هڪ طاقتور حل ٺاهي ٿو.
اهم خاصيتون:
•هاء وولٹیج سنڀالڻ: 850V تائين سپورٽ ڪرڻ لاءِ انجنيئر ٿيل، هي GaN-on-Si Epi Wafer پاور اليڪٽرانڪس جي طلب ڪرڻ لاءِ مثالي آهي، اعليٰ ڪارڪردگي ۽ ڪارڪردگي کي چالو ڪرڻ.
•وڌايل پاور کثافت: اعلي اليڪٽران متحرڪ ۽ حرارتي چالکائي سان، GaN ٽيڪنالاجي ڪمپيڪٽ ڊيزائن ۽ وڌندڙ طاقت جي کثافت جي اجازت ڏئي ٿي.
•قيمتي-مؤثر حل: سلڪون کي ذيلي ذخيري جي طور تي استعمال ڪندي، هي ايپي ويفر روايتي GaN ويفرز جو هڪ قيمتي-مؤثر متبادل پيش ڪري ٿو، معيار يا ڪارڪردگي تي سمجهوتو ڪرڻ کان سواء.
•وسيع ايپليڪيشن رينج: پاور ڪنورٽرز، آر ايف ايمپليفائرز، ۽ ٻين اعلي طاقت واري اليڪٽرانڪ ڊوائيسز ۾ استعمال لاء مڪمل، اعتماد ۽ استحڪام کي يقيني بڻائي.
Semicera's سان اعلي وولٹیج ٽيڪنالاجي جي مستقبل جي ڳولا ڪريو850V هاء پاور GaN-on-Si Epi Wafer. جديد ايپليڪيشنن لاءِ ٺهيل، هي پراڊڪٽ يقيني بڻائي ٿو ته توهان جا اليڪٽرانڪ ڊوائيس وڌ کان وڌ ڪارڪردگي ۽ اعتبار سان هلن. پنھنجي ايندڙ نسل جي سيمي ڪنڊيڪٽر جي ضرورتن لاءِ Semicera چونڊيو.
شيون | پيداوار | تحقيق | ڊمي |
کرسٽل پيرا ميٽرز | |||
پوليٽائپ | 4H | ||
سطح جي واقفيت جي غلطي | <11-20 > 4±0.15° | ||
اليڪٽرڪ پيٽرولر | |||
ڊاپنٽ | n-نائيٽروجن جو قسم | ||
مزاحمتي قوت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
مشيني پيراگراف | |||
قطر | 150.0±0.2mm | ||
ٿلهو | 350±25 μm | ||
پرائمري فليٽ واقفيت | [1-100] ±5° | ||
پرائمري فليٽ ڊگھائي | 47.5±1.5mm | ||
ثانوي فليٽ | ڪو به | ||
ٽي وي | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
ڪنڌ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
سامهون (سي-منهن) خرابي (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ساخت | |||
مائڪروپائپ جي کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
ڌاتو جي نجاست | ≤5E10 جوهر/cm2 | NA | |
بي پي ڊي | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
ٽي ايس ڊي | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
اڳيون معيار | |||
سامهون | Si | ||
مٿاڇري ختم | سي ايم پي جو منهن | ||
ذرڙا | ≤60ea/ويفر (سائز≥0.3μm) | NA | |
ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm مجموعي ڊگھائي ≤ قطر | مجموعي ڊيگهه≤2 * قطر | NA |
نارنگي جو ٿلهو/ کڏ/ داغ/ داغ/ داغ/ داغ/ آلودگي | ڪو به | NA | |
ايج چپس/انڊينٽ/فريڪچر/هيڪس پليٽون | ڪو به | ||
Polytype علائقن | ڪو به | مجموعي علائقو≤20% | مجموعي علائقو≤30% |
سامهون ليزر نشان ھڻڻ | ڪو به | ||
واپس معيار | |||
پوئتي ختم | سي-منهن CMP | ||
ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm، مجموعي ڊگھائي≤2* قطر | NA | |
پوئتي عيب (ايجنڊ چپس/انڊينٽ) | ڪو به | ||
پٺيءَ جي خرابي | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
پوئتي ليزر نشان ھڻڻ | 1 ملي ميٽر (مٿي ڪنڊ کان) | ||
کنڊ | |||
کنڊ | چمفر | ||
پيڪنگنگ | |||
پيڪنگنگ | ايپي-تيار ويڪيوم پيڪنگنگ سان ملٽي ويفر ڪيسٽ پيڪنگنگ | ||
* نوٽس: "NA" جو مطلب آهي ڪابه درخواست نه آهي شيون جيڪي ذڪر نه ڪيون ويون آهن شايد SEMI-STD ڏانهن اشارو ڪيو وڃي. |