Silicon carbide (SiC) سنگل ڪرسٽل مواد ۾ وڏي بينڊ گيپ ويڪر (~Si 3 ڀيرا)، تيز حرارتي چالکائي (~Si 3.3 ڀيرا يا GaAs 10 ڀيرا)، هاءِ اليڪٽران سنتريشن لڏپلاڻ جي شرح (~Si 2.5 دفعا)، اعليٰ بريڪ ڊائون برقي فيلڊ (~ Si 10 ڀيرا يا GaAs 5 ڀيرا) ۽ ٻيون شاندار خاصيتون.
ٽئين نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر مواد ۾ خاص طور تي شامل آهن SiC، GaN، هيرا، وغيره، ڇاڪاڻ ته ان جي بينڊ گيپ ويڊٿ (مثال طور) 2.3 اليڪٽران وولٽس (eV) کان وڌيڪ يا برابر آهي، جنهن کي وائڊ بينڊ گيپ سيميڪنڊڪٽر مواد پڻ چيو ويندو آهي. پهرين ۽ ٻي نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر مواد جي مقابلي ۾، ٽئين نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر مواد ۾ اعليٰ حرارتي چالکائي، اعليٰ بريڪ ڊائون اليڪٽرڪ فيلڊ، هاءِ سنتر ٿيل اليڪٽران لڏپلاڻ جي شرح ۽ اعليٰ بانڊنگ توانائي جا فائدا آهن، جيڪي جديد اليڪٽرانڪ ٽيڪنالاجي جي جديد ضرورتن کي پورا ڪري سگهن ٿا. گرمي پد، اعلي طاقت، اعلي دٻاء، اعلي تعدد ۽ تاب مزاحمت ۽ ٻين سخت حالتن. اهو قومي دفاع، هوائي جهاز، ايرو اسپيس، تيل جي ڳولا، آپٽيڪل اسٽوريج، وغيره جي شعبن ۾ اهم ايپليڪيشن جا امڪان آهن، ۽ ڪيترن ئي اسٽريٽجڪ صنعتن جهڙوڪ براڊ بينڊ ڪميونيڪيشن، سولر انرجي، آٽو موبائيل ٺاهڻ، توانائي جي نقصان کي 50 سيڪڙو کان وڌيڪ گھٽائي سگھي ٿو. سيمي ڪنڊڪٽر لائٽنگ، ۽ سمارٽ گرڊ، ۽ سامان جي مقدار کي 75 سيڪڙو کان وڌيڪ گھٽائي سگھي ٿو، جيڪو سنگ ميل جو آھي انساني سائنس ۽ ٽيڪنالاجي جي ترقي لاء اهميت.
سيميسيرا توانائي گراهڪن کي مهيا ڪري سگھي ٿي اعليٰ معيار جي موصليت (Conductive)، سيمي-انسوليٽنگ (سيمي-انسوليٽنگ)، HPSI (هاءِ پيورٽي نيم انسوليٽنگ) سلکان ڪاربائيڊ سبسٽرا؛ ان کان سواء، اسان کي homogeneous ۽ heterogeneous silicon carbide epitaxial چادر سان گراهڪن مهيا ڪري سگهو ٿا؛ اسان به گراهڪن جي مخصوص ضرورتن جي مطابق epitaxial شيٽ کي ترتيب ڏئي سگهون ٿا، ۽ ڪو به گهٽ ۾ گهٽ حڪم جي مقدار نه آهي.
| شيون | پيداوار | تحقيق | ڊمي |
| کرسٽل پيرا ميٽرز | |||
| پوليٽائپ | 4H | ||
| سطح جي واقفيت جي غلطي | <11-20 > 4±0.15° | ||
| اليڪٽرڪ پيٽرولر | |||
| ڊاپنٽ | n-نائيٽروجن جو قسم | ||
| مزاحمتي قوت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| مشيني پيراگراف | |||
| قطر | 150.0±0.2mm | ||
| ٿلهو | 350±25 μm | ||
| پرائمري فليٽ واقفيت | [1-100] ±5° | ||
| پرائمري فليٽ ڊگھائي | 47.5±1.5mm | ||
| ثانوي فليٽ | ڪو به | ||
| ٽي وي | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| ڪنڌ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| سامهون (سي-منهن) خرابي (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ساخت | |||
| مائڪروپائپ جي کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ڌاتو جي نجاست | ≤5E10 جوهر/cm2 | NA | |
| بي پي ڊي | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| ٽي ايس ڊي | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| اڳيون معيار | |||
| سامهون | Si | ||
| مٿاڇري ختم | سي ايم پي جو منهن | ||
| ذرڙا | ≤60ea/ويفر (سائز≥0.3μm) | NA | |
| ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm مجموعي ڊگھائي ≤ قطر | مجموعي ڊيگهه≤2 * قطر | NA |
| نارنگي جو ٿلهو/ کڏ/ داغ/ داغ/ داغ/ داغ/ آلودگي | ڪو به | NA | |
| ايج چپس/انڊينٽ/فريڪچر/هيڪس پليٽون | ڪو به | ||
| Polytype علائقن | ڪو به | مجموعي علائقو≤20% | مجموعي علائقو≤30% |
| سامهون ليزر نشان ھڻڻ | ڪو به | ||
| واپس معيار | |||
| پوئتي ختم | سي-منهن CMP | ||
| ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm، مجموعي ڊگھائي≤2* قطر | NA | |
| پوئتي عيب (ايجنڊ چپس/انڊينٽ) | ڪو به | ||
| پٺيءَ جي خرابي | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| پوئتي ليزر نشان ھڻڻ | 1 ملي ميٽر (مٿي ڪنڊ کان) | ||
| کنڊ | |||
| کنڊ | چمفر | ||
| پيڪنگنگ | |||
| پيڪنگنگ | ايپي-تيار ويڪيوم پيڪنگنگ سان ملٽي ويفر ڪيسٽ پيڪنگنگ | ||
| * نوٽس: "NA" جو مطلب آهي ڪابه درخواست نه آهي شيون جيڪي ذڪر نه ڪيون ويون آهن شايد SEMI-STD ڏانهن اشارو ڪيو وڃي. | |||
