سيميسيرا10x10mm غير پولر ايم-پلين ايلومينيم سبسٽريٽترقي يافته optoelectronic ايپليڪيشنن جي گهربل ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ احتياط سان ٺهيل آهي. هي سبسٽرٽ هڪ غير پولر M-plane orientation جي خصوصيت رکي ٿو، جيڪو ڊوائيسز جهڙوڪ LEDs ۽ ليزر ڊاءِڊس ۾ پولرائزيشن اثرات کي گهٽائڻ لاءِ اهم آهي، جيڪا ڪارڪردگي ۽ ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿي.
جي10x10mm غير پولر ايم-پلين ايلومينيم سبسٽريٽغير معمولي ڪرسٽل معيار سان ٺهيل آهي، گهٽ ۾ گهٽ عيب جي کثافت ۽ اعلي ساخت جي سالميت کي يقيني بڻائي ٿي. اهو ان کي اعلي معيار جي III-nitride فلمن جي epitaxial ترقي لاء هڪ مثالي پسند بڻائي ٿو، جيڪي ايندڙ نسل جي optoelectronic ڊوائيسز جي ترقي لاء ضروري آهن.
Semicera جي سڌائي انجنيئرنگ کي يقيني بڻائي ٿي ته هر هڪ10x10mm غير پولر ايم-پلين ايلومينيم سبسٽريٽپيش ڪري ٿو مسلسل ٿلهي ۽ مٿاڇري جي لوڻ، جيڪي يونيفارم فلم جي جمع ۽ ڊوائيس جي تعمير لاء اهم آهن. اضافي طور تي، ذيلي ذخيرو جي ٺهيل سائيز ان کي تحقيق ۽ پيداوار جي ماحول لاء مناسب بڻائي ٿو، مختلف قسم جي ايپليڪيشنن ۾ لچڪدار استعمال جي اجازت ڏئي ٿي. ان جي بهترين حرارتي ۽ ڪيميائي استحڪام سان، هي ذيلي ذخيرو جديد اوپيٽو اليڪٽرانڪ ٽيڪنالاجيز جي ترقي لاء هڪ قابل اعتماد بنياد فراهم ڪري ٿو.
| شيون | پيداوار | تحقيق | ڊمي |
| کرسٽل پيرا ميٽرز | |||
| پوليٽائپ | 4H | ||
| سطح جي واقفيت جي غلطي | <11-20 > 4±0.15° | ||
| اليڪٽرڪ پيٽرولر | |||
| ڊاپنٽ | n-نائيٽروجن جو قسم | ||
| مزاحمتي قوت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| مشيني پيراگراف | |||
| قطر | 150.0±0.2mm | ||
| ٿلهو | 350±25 μm | ||
| پرائمري فليٽ واقفيت | [1-100] ±5° | ||
| پرائمري فليٽ ڊگھائي | 47.5±1.5mm | ||
| ثانوي فليٽ | ڪو به | ||
| ٽي وي | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| ڪنڌ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| سامهون (سي-منهن) خرابي (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ساخت | |||
| مائڪروپائپ جي کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ڌاتو جي نجاست | ≤5E10 جوهر/cm2 | NA | |
| بي پي ڊي | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| ٽي ايس ڊي | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| اڳيون معيار | |||
| سامهون | Si | ||
| مٿاڇري ختم | سي ايم پي جو منهن | ||
| ذرڙا | ≤60ea/ويفر (سائز≥0.3μm) | NA | |
| ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm مجموعي ڊگھائي ≤ قطر | مجموعي ڊيگهه≤2 * قطر | NA |
| نارنگي جو ٿلهو/ کڏ/ داغ/ داغ/ داغ/ داغ/ آلودگي | ڪو به | NA | |
| ڪنڊ چپس/انڊينٽ/فريڪچر/هيڪس پليٽ | ڪو به | ||
| Polytype علائقن | ڪو به | مجموعي علائقو≤20% | مجموعي علائقو≤30% |
| سامهون ليزر نشان ھڻڻ | ڪو به | ||
| واپس معيار | |||
| پوئتي ختم | سي-منهن CMP | ||
| ڇڪتاڻ | ≤5ea/mm، مجموعي ڊگھائي≤2* قطر | NA | |
| پوئتي عيب (ايجنڊ چپس/انڊينٽ) | ڪو به | ||
| پٺيءَ جي خرابي | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| پوئتي ليزر نشان ھڻڻ | 1 ملي ميٽر (مٿي ڪنڊ کان) | ||
| کنڊ | |||
| کنڊ | چمفر | ||
| پيڪنگنگ | |||
| پيڪنگنگ | ايپي-تيار ويڪيوم پيڪنگنگ سان ملٽي ويفر ڪيسٽ پيڪنگنگ | ||
| * نوٽس: "NA" جو مطلب آهي ڪابه درخواست نه آهي شيون جيڪي ذڪر نه ڪيون ويون آهن شايد SEMI-STD ڏانهن اشارو ڪيو وڃي. | |||
